アクチュエータ
- マイクロメータヘッド(保守部品)
マイクロメータヘッド(保守部品) 移動量15mm以下 (SFN/SHTS/SHT/SHSS/SHS/SHM)
マイクロメータヘッド(保守部品) 移動量25mm以上 (SHS/SHN/MHN/SHH )
粗微動マイクロメータヘッド(保守部品) (MHF)
ナット回し (MNS)
ウォーム式粗微動マイクロメータヘッド (WGP)
折返し式マイクロメータヘッド (MDC)
各種差動マイクロヘッド (SHSP/SHPA/SHPB/SHPT/SHPC)
- ピエゾドライブ
ピエゾドライブモータ (PDM-ACT)
真空対応ピエゾドライブモータ (VPDM-ACT)
ピエゾドライブモータ駆動高安定ステンレスミラーマウント (MHX-PDM)
専用2軸コントローラ (PDM-ID-02)
- リモートマイクロメータヘッド・アクチュエータ
リモートマイクロメータヘッド (RMH)
リモートマイクロメータ用コントローラ (RMC)
リモートアクチュエータ本体 (SGDC)
リモートアクチュエータ延長ケーブル (MDC-CABLE)
リモートアクチュエータ専用コントローラ/切替ボックス (SRC)
- PKA（超音波アクチュエータ）
超音波自動X軸スライダー (PKA-X
超音波自動ミラーホルダー (PKA-MH)
超音波アクチュエータ (PKA-ACT)
真空仕様超音波アクチュエータ (VPKA-ACT)
専用2軸コントローラ (PKA-ID-02)
- ACT（ステッピングモータ駆動小型アクチュエータ）
ステッピングモータ駆動小型アクチュエータ (SGSP-ACT)
1軸ステージコントローラ (GSC-01)
2軸ステージコントローラ (GSC-02A)
多軸リンクコントローラ (HIT)
