真空対応ピエゾドライブモータ (VPDM-ACT)

高真空のチェンバーの装置内で遠隔操作が可能な高分解能・小型アクチュエータです。マイクロメータと取付互換性があります。

取付けシャンク径はφ9.5mmの標準タイプと、φ6mmの小型タイプの2種類をご用意しています。
アクチュエータの先端が平面のタイプ（VPDM-**ACT）とRタイプ（VPDM-**ACTR）をご用意しています。
駆動させるには、ピエゾドライブ専用コントローラ（PDM-ID-02）をご使用ください。
アクチュエータからはリード線が出ており、チャンバの端子につなぐかリード線を外に引き出して使用します。真空対応ピエゾドライブアクチュエータにはこのリード線と接続するためのコントローラ専用接続ケーブル（1m）が付属されています。
ピエゾドライブモータ（VPSM-ACT）もご用意しています。

電動アクチュエータのご紹介

VPDM-ACT仕様

品番	先端形状	移動量	最小移動量	推力	最大移動速度	質量
VPDM-6.5ACT	フラットタイプ	6.5mm以上(最大13mm)	30nm以下	13N	1.5mm/min	0.02kg
VPDM-13ACT	フラットタイプ	13mm以上(最大18mm)	20nm以下	29.4N	1.5mm/min	0.05kg
VPDM-6.5ACTR	Rタイプ	6.5mm以上(最大13mm)	30nm以下	13N	1.5mm/min	0.02kg
VPDM-13ACTR	Rタイプ	13mm以上(最大18mm)	20nm以下	29.4N	1.5mm/min	0.05kg

ピエゾドライブコントローラ / PDM-ID-02

ピエゾドライブモータ（PDM-**ACT）専用の2軸コントローラです。ピエゾドライブ専用コントローラ（PDM-ID-02)の電源仕様はDC＋24V2Aです。ACアダプタ(AC-ADP-2427)をご購入、もしくはお客様によりご用意いただく必要があります。このコントローラは、ピエゾドライブモータ（PDM-**ACT）以外の製品を接続しないでください。

品番	PDM-ID-02
可動軸数	2軸
インターフェイス	RS232C、USB（仮想COM）外部PCから仮想シリアルポートとして認識
最大駆動速度	1500pps
マニュアル操作	ジョグスティック
電源電圧	DC24V 2.0A
動作温度	5～40℃
保存温度	-20～60℃
周囲湿度	20～80％RH（結露なきこと）
外形寸法（突起部除く）	50x152.5x100mm
質量	0.6kg