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アプリケーションシステム
レーザ加工
スキャン光学系と集光光学系
マスクレス加工では、CADなどからのデータを元に直接描画加工を行います。
走査方法により大きく分類され、スキャン光学系と集光光学系にわかれます。また、両者を複合したハイブリッド走査型もあります。
スキャン光学系 | 集光光学系 | |
走査方法 | ガルバノスキャン | ステージスキャン |
走査速度 | 高速 | 低速 |
走査エリア | 狭い | 広い |
集光方法 | fθレンズ | 対物レンズ |
集光スポット径 | 数10μ〜数100μ | サブミクロン〜数10μ |
焦点深度 | 深い | 浅い |
スキャン系
集光系(観察系付)