3軸自動XYθユニット / DAU-120A

TOSA(UV接着固定タイプ)/ROSA等の調芯に必要なXYθの3軸自動ステージユニットです。

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品番
DAU-120A
¥518,000
◦YAG溶接用面合わせ機構(ジンバル)ユニットも取付可能です。
◦Z軸との組合せで、使用すると有効です。
◦高剛性、高性能ステージの採用により、再現性に優れた調芯が可能です。
◦ホルダーは、マグネット固定方式と突き当て機構の採用により、位置再現性を確保する構造です。
◦互換性のあるホルダーを交換する事で、デバイスの変更に伴うアプリケーションの容易な拡張が可能です。(ファイバーホルダー、ファイバー回転ホルダー、ファイバーアレイホルダー等)
その他の情報
カタログコード W2034
RoHS No
CE No
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CADデータ
軸数 3
仕様
品番 X軸 Y軸 θ軸
DAU-120A
移動量 50mm 50mm 反時計周りCCW方向は∞、時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止
分解能(Full) 2μm 2μm 0.005° / パルス
分解能(Half) 1μm 1μm 0.0025° / パルス
位置決め精度 6μm以内 6μm以内 0.15°
繰返し位置決め精度 1μm以内 1μm以内 0.02°