θ軸透過用粗微動ステージ (KSPA)

ステージ本体にアルミを採用し、軽量で高精度な回転ステージです。ステージ中央に貫通穴があいているタイプは、透過用としてご利用いただけます。

品番	取付規格	送り機構	テーブル面サイズ	回転範囲	目盛最小読取	マイクロメータ最小読取	耐荷重	許容モーメント荷重	モーメント剛性	平行度	偏芯度	面振れ量	質量
KSPA-806M	METRIC	マイクロメータ	φ80mm	粗動: 360°　微動: ±5°	5′	約1′08.8″	58.8N(6.0kgf)	1.0N・m	0.8″/N・㎝	50μm	20μm	20μm	0.5kg
KSPA-806FP	METRIC	ファインピッチスクリューアジャスター	φ80mm	粗動: 360°　微動: ±5°	5′	-	58.8N(6.0kgf)	1.0N・m	0.8″/N・㎝	50μm	20μm	20μm	0.5kg
KSPA-986M	METRIC	マイクロメータ	φ98mm	粗動: 360°　微動: ±5°	5′	約52.9″	68.6N(7.0kgf)	1.0N・m	0.8″/N・㎝	50μm	20μm	20μm	0.7kg
KSPA-986FP	METRIC	ファインピッチスクリューアジャスター	φ98mm	粗動: 360°　微動: ±5°	5′	-	68.6N(7.0kgf)	1.0N・m	0.8″/N・㎝	50μm	20μm	20μm	0.7kg
KSPA-806MH	METRIC	マイクロメータ	φ57mm	粗動: 360°　微動: ±5°	5′	約51.6″	49.0N(5.0kgf)	0.88N・m	0.61″/N・㎝	30μm	20μm	20μm	0.45kg
KSPA-806FPH	METRIC	ファインピッチスクリューアジャスター	φ57mm	粗動: 360°　微動: ±5°	5′	-	49.0N(5.0kgf)	0.88N・m	0.61″/N・㎝	30μm	20μm	20μm	0.45kg
KSPA-1006MH	METRIC	マイクロメータ	φ76mm	粗動: 360°　微動: ±5°	5′	約42.1″	68.6N(7.0kgf)	0.98N・m	0.2″/N・㎝	40μm	20μm	20μm	0.6kg
KSPA-1006FPH	METRIC	ファインピッチスクリューアジャスター	φ76mm	粗動: 360°　微動: ±5°	5′	-	68.6N(7.0kgf)	0.98N・m	0.2″/N・㎝	40μm	20μm	20μm	0.6kg