Z軸ステンレスステージ (垂直-TSDS)
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
TSDSシリーズは、真空用途に適したステージです。アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
TSDS-Z軸(垂直) 共通仕様
| 品番シリーズ | TSDS-253L | TSDS-403L | TSDS-603L | TSDS-653L |
|---|---|---|---|---|
| テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm |
| 移動量 | ±3mm | ±6.5mm | ±6.5mm | ±6.5mm |
| 耐荷重 | 14.7N（1.5kgf） | 49N（5.0kgf） | 49N（5.0kgf） | 49N（5.0kgf） |
| 移動精度/真直度 | 1μm | 1μm | 1μm | 1μm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 2.2N･m | 5.0N･m | 8.0N･m | 8.0N･m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 2.1N･m | 5.0N･m | 8.0N･m | 8.0N･m |
| モーメント剛性/ピッチング | 3.3″/N･cm | 0.6″/N･cm | 0.25″/N･cm | 0.25″/N･cm |
| 平行度 | 30μm | 30μm | 30μm | 30μm |
| 移動ガイド | ボールガイド | |||
| 主要材質 | ステンレス | |||
| 表面処理 | 無 | |||
TSDS-Z軸(垂直)シリーズ仕様
| 品番 | 操作位置 | 送り機構 | 取付規格 | 移動量 | 移動量/1回転 | マイクロメータ最小読取 | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TSDS-253L | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±3mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.1kg |
| TSDS-403L | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.3kg |
| TSDS-403LUU | サイド | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.3kg |
| TSDS-603L | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.8kg |
| TSDS-653L-M6 | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.9kg |
| TSDS-653LUU | サイド | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.9kg |
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