X軸汎用型ステンレスステージ (TSDH)
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
本体材質にはSUS440C相当、表面処理には無電解ニッケルメッキ処理を施しており防錆に優れています。
TSDH-X軸 共通仕様
品番シリーズ | TSDH-251 | TSDH-401 | TSDH-601 |
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テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm |
移動量 | ±3mm | ±6.5mm | ±6.5mm |
耐荷重 | 59.8N(6.0kgf) | 196N(20.0kgf) | 343N(35.0kgf) |
移動精度/真直度 | 1μm | 1μm | 1μm |
移動精度/ピッチング | 30″ | 30″ | 25″ |
移動精度/ヨーイング | 25″ | 25″ | 15″ |
許容モーメント荷重/ピッチング | 4.0N・m | 7.8N・m | 13.2N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 5.0N・m | 7.8N・m | 14.7N・m |
許容モーメント荷重/ヨーイング | 2.0N・m | 5.0N・m | 9.8N・m |
モーメント剛性/ピッチング | 1.8″/N・cm | 0.3″/N・cm | 0.2″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 1.6″/N・cm | 0.2″/N・cm | 0.13″/N・cm |
モーメント剛性/ヨーイング | 2.0″/N・cm | 0.23″/N・cm | 0.16″/N・cm |
平行度 | 30μm | 30μm | 30μm |
移動平行度 | 10μm | 10μm | 10μm |
移動ガイド | ボールガイド | ||
主要材質 | SUS440C相当 |
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