XY軸アルミクロスローラステージ (TAM)
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度なXY軸直動ステージです。
TAM-XY軸 共通仕様
| 品番シリーズ | TAM-402 | TAM-602 | TAM-652 | TAM-802 | TAM-1002 | TAM-1202 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| テーブル面サイズ | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm | 80×80mm | 100×100mm | 120×120mm |
| 耐荷重 | 49N（5.0kgf） | 196N（20.0kgf） | 196N（20.0kgf） | 392N（40.0kgf） | 490N（50.0kgf） | 588N（60.0kgf） |
| 移動精度/真直度 | 2μm | 2μm | 2μm | 2μm | 2μm | 2μm |
| 移動精度/ピッチング | 40″ | 25″ | 25″ （TAM-652*25-M6、TAM-652*25UUは35″） |
25″ | 25″ | 40″ |
| 移動精度/ヨーイング | 25″ | 15″ | 15″ （TAM-651*25-M6、TAM-651*25UUは25″） |
15″ | 15″ | 25″ |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 2.75N・m | 5.8N・m | 4.9N・m | 12.3N・m | 27.5N・m | 40.7N・m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 2.75N・m | 5.8N・m | 4.9N・m | 12.3N・m | 40.7N・m | 40.7N・m |
| 許容モーメント荷重/ヨーイング | 2.5N・m | 5.8N・m | 4.9N・m | 14.7N・m | 30.9N・m | 52.0N・m |
| モーメント剛性/ピッチング | 1.22″/N・cm | 0.6″/N・cm | 0.6″/N・cm | 0.23″/N・cm | 0.17″/N・cm | 0.13″/N・cm |
| モーメント剛性/ローリング | 1.22″/N・cm | 0.6″/N・cm | 0.6″/N・cm | 0.23″/N・cm | 0.17″/N・cm | 0.13″/N・cm |
| 平行度 | 50μm | 50μm | 50μm | 50μm | 50μm | 50μm |
| 移動平行度 | 20μm | 20μm | 20μm | 20μm | 25μm | 30μm |
| 移動ガイド | クロスローラ | |||||
| 主要材質 | アルミ | |||||
| 表面処理 | 黒アルマイト | |||||
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