Z軸大型ステージ (TSM)

ジャッキスクリュー方式を使用した、薄型で大型のステージ面です。

側面にあるハンドルを回すことで、ステージの上面を上下に移動できます。ハンドルは連動しているため、どちらか一方を操作するとステージ面が移動します。
ステージ中心にある透過穴は、テーブルを移動させても常に貫通穴径を保ちます。


 

TSM共通仕様

品番 TSM
移動ガイド ジャッキスクリュー方式
主要材質 アルミ
表面処理 黒アルマイト

 

TSMシリーズ仕様

品番 テーブル面
サイズ
取付
規格
移動量 移動量/1回転 最小読取 耐荷重 移動精度 許容モーメント荷重 モーメント剛性 平行度 質量
真直度 ピッチング ローリング ピッチング ローリング
TSM-2003 200x200mm METRIC 10mm 約1.0mm/1回転 1mm 490N
(50.0kgf)
200μm 4.9N・m 4.9N・m 0.05″/N・cm 0.05″/N・cm 150μm 5.0kg
TSM-2003-M6 200x200mm METRIC(M6) 10mm 約1.0mm/1回転 1mm 490N
(50.0kgf)
200μm 4.9N・m 4.9N・m 0.05″/N・cm 0.05″/N・cm 150μm 5.0kg
TSM-2003UU 200x200mm INCH 10mm 約1.0mm/1回転 1mm 490N
(50.0kgf)
200μm 4.9N・m 4.9N・m 0.05″/N・cm 0.05″/N・cm 150μm 5.0kg
TSM-3003 300x300mm METRIC 10mm 約1.0mm/1回転 1mm 735N
(75.0kgf)
200μm 7.4N・m 7.4N・m 0.03″/N・cm 0.03″/N・cm 150μm 8.0kg
TSM-4003 400x400mm METRIC 13mm 約1.0mm/1回転 1mm 980N
(100.0kgf)
200μm 9.8N・m 9.8N・m 0.015″/N・cm 0.015″/N・cm 200μm 15.0kg
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