Z軸大型ステージ (TSM)
ジャッキスクリュー方式を使用した、薄型で大型のステージ面です。
側面にあるハンドルを回すことで、ステージの上面を上下に移動できます。ハンドルは連動しているため、どちらか一方を操作するとステージ面が移動します。ステージ中心にある透過穴は、テーブルを移動させても常に貫通穴径を保ちます。
TSM共通仕様
品番 | TSM | |
---|---|---|
移動ガイド | ジャッキスクリュー方式 | |
主要材質 | アルミ | |
表面処理 | 黒アルマイト |
TSMシリーズ仕様
品番 | テーブル面 サイズ |
取付 規格 |
移動量 | 移動量/1回転 | 最小読取 | 耐荷重 | 移動精度 | 許容モーメント荷重 | モーメント剛性 | 平行度 | 質量 | ||
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真直度 | ピッチング | ローリング | ピッチング | ローリング | |||||||||
TSM-2003 | 200x200mm | METRIC | 10mm | 約1.0mm/1回転 | 1mm | 490N (50.0kgf) |
200μm | 4.9N・m | 4.9N・m | 0.05″/N・cm | 0.05″/N・cm | 150μm | 5.0kg |
TSM-2003-M6 | 200x200mm | METRIC(M6) | 10mm | 約1.0mm/1回転 | 1mm | 490N (50.0kgf) |
200μm | 4.9N・m | 4.9N・m | 0.05″/N・cm | 0.05″/N・cm | 150μm | 5.0kg |
TSM-2003UU | 200x200mm | INCH | 10mm | 約1.0mm/1回転 | 1mm | 490N (50.0kgf) |
200μm | 4.9N・m | 4.9N・m | 0.05″/N・cm | 0.05″/N・cm | 150μm | 5.0kg |
TSM-3003 | 300x300mm | METRIC | 10mm | 約1.0mm/1回転 | 1mm | 735N (75.0kgf) |
200μm | 7.4N・m | 7.4N・m | 0.03″/N・cm | 0.03″/N・cm | 150μm | 8.0kg |
TSM-4003 | 400x400mm | METRIC | 13mm | 約1.0mm/1回転 | 1mm | 980N (100.0kgf) |
200μm | 9.8N・m | 9.8N・m | 0.015″/N・cm | 0.015″/N・cm | 200μm | 15.0kg |
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