Z軸ピエゾアシストステージ (垂直面取付)
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手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができる垂直面取付タイプのZ軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。
ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。
ピエゾアシストステージ TADC-PAシリーズのご紹介
| 品番シリーズ | TADC-251 | TADC-401 | TADC-601 | TADC-651 |
|---|---|---|---|---|
| テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm |
| 粗動移動量 | ±3mm | ±6.5mm | ±6.5mm | ±12.5mm |
| 微動移動量 | 25µm以上 | 30µm以上 | 30µm以上 | 30µm以上 |
| 移動量/1回転 | 0.5mm | |||
| マイクロメータ最小読取 | 0.01mm | |||
| 微動最小分解能 | 20nm以下 | |||
| 耐荷重 | 9.8N（1.0kgf） | 9.8N（1.0kgf） | 9.8N（1.0kgf） | 9.8N（1.0kgf） |
| 移動精度/真直度 | 3μm | 3μm | 3μm | 3μm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 1.47N・m | 2.5N・m | 2.5N・m | 4.9N・m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 1.47N・m | 2.5N・m | 2.5N・m | 4.9N・m |
| モーメント剛性/ピッチング | 6″/N・cm | 0.66″/N・cm | 0.66″/N・cm | 0.4″/N・cm |
| 移動平行度 | 20μm | 10μm | 10μm | 20μm |
| 質量 | 0.07㎏ | 0.16㎏ | 0.25㎏ | 0.36㎏ |
| 移動ガイド | ボールガイド | |||
| 主要材質 | アルミ | |||
| 表面処理 | 黒アルマイト | |||
TADC-ZPAシリーズ個別仕様
| 品番 | テーブル面サイズ | マイクロ操作位置 | 取付規格 |
|---|---|---|---|
| TADC-251SZPA | 25×25mm | サイド | METRIC |
| TADC-251SRZPA | 25×25mm | サイド(勝手違い) | METRIC |
| TADC-401SZPA | 40×40mm | サイド | METRIC |
| TADC-401SRZPA | 40×40mm | サイド(勝手違い) | METRIC |
| TADC-601SZPA | 60×60mm | サイド | METRIC |
| TADC-601SRZPA | 60×60mm | サイド(勝手違い) | METRIC |
| TADC-651SZ25-M6PA | 65×65mm | サイド | METRIC |
| TADC-651SRZ25-M6PA | 65×65mm | サイド(勝手違い) | METRIC |
| TADC-651SZ25UUPA | 65×65mm | サイド | INCH |
| TADC-651SRZ25UUPA | 65×65mm | サイド(勝手違い) | INCH |
ピエゾアシストステージ専用コントローラ
ピエゾアシストステージシリーズを駆動させる専用コントローラです。1軸タイプと、3軸タイプをラインナップしています。
| 品名 | 1軸ピエゾアシストステージコントローラ | 3軸ピエゾアシストステージコントローラ | ACアダプタ |
|---|---|---|---|
| 品番 | PASC-101 | PASC-103 | AC-ADP-0620-62368 |
| 製品写真 |  |
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