1nmフィードバックステージ / FS-1050UPX

1nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
FS-UPXシリーズは、高トルクタイプのFS-SPXシリーズと比較し高速に動作します。
また、位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。

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品番
FS-1050UPX
¥800,000
その他の情報
カタログコード W9301
RoHS No
CE No
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CADデータ
テーブル面サイズ 120×120mm
移動量 50mm
繰返し位置決め精度※1 ±2nm
最小分解能※1 1nm
最大移動速度  5mm/sec
質量 1.6㎏
走り平行度 10μm
耐荷重 98N(10kgf)