サブミクロンフィードバックステージシステム / FS-1050X

サブミクロンの分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、7種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。

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品番
FS-1050X
¥400,000
その他の情報
カタログコード W9307
RoHS No
CE No
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CADデータ
駆動モータタイプ □28mm 5相ステッピングモータ
テーブル面サイズ 120×120mm
走り平行度 10μm
移動ガイド クロスローラガイド
移動量 50mm
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合 ±100nm
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合
最小分解能※1 FC-411使用の場合 50nm
最小分解能※1 FC-414使用の場合
最大移動速度  10mm/sec
質量 1.6㎏
送りネジ ボールねじ径φ6mm、リード1mm
耐荷重 98N(10kgf)