サブミクロンフィードバックステージシステム / FS-3400X
サブミクロンの分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、7種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、7種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
在庫お問合せ
品番
FS-3400X
¥850,000
カタログコード | W9307 |
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RoHS | No |
CE | No |
資料ダウンロード | |
CADデータ | |
駆動モータタイプ | □42mm 5相ステッピングモータ |
テーブル面サイズ | 160×160mm |
走り平行度※2(移動量100mmあたり) | 10μm |
移動ガイド | LMガイド |
移動量 | 400mm |
繰返し位置決め精度※1 FC-411使用の場合 | - |
繰返し位置決め精度※1 FC-414使用の場合 | ±100nm |
最小分解能※1 FC-411使用の場合 | - |
最小分解能※1 FC-414使用の場合 | 50nm |
最大移動速度 | 20mm/sec |
質量 | 9.5㎏ |
送りネジ | ボールねじ径φ14mm、リード5mm |
耐荷重 | 196N(20kgf) |