1nmフィードバックステージ (NFS-UPX)

CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。

ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
フィードバックステージ (NFSシリーズ) 対応コントローラ (SHRC-203) をご用意しています。
分解能1nmタイプは、6種類のテーブル面サイズから選択ができます。

 

NFSシリーズ移動量を選定するポイント

※下記以外の移動量が必要な場合には、営業までお問合せください。

移動量 テーブル面サイズ ポイント
20mm 75x60mm 省スペースタイプ、移動量が短くても十分な場合に使用します。
40mm 110x60mm 最も安定性があり、設置スペースに余裕がある場合にはおすすめのステージです。
50mm 100×100mm、120×120mm 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。
100mm 175×100mm、175×120mm 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。
200mm 230×180mm 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。分解能10nm、50nmをラインナップしています。
300mm 330×180mm 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。分解能10nm、50nmをラインナップしています。

 

フィードバックステージ (NFSシリーズ)
分解能別移動量ラインナップ表

 

(分解能1nm) NFS-UPXシリーズラインナップ一覧

品番 テーブル面サイズ 移動量 位置決め精度 繰り返し
位置決め精度
耐荷重 質量
NFS60-20UPX 75x60mm 20mm 1μm 0.4μm 49N(5.0kgf) 0.5kg
NFS60-40UPX 110x60mm 40mm 1μm 0.4μm 49N(5.0kgf) 1.0kg
NFS100-50UPX 100x100mm 50mm 1μm 0.4μm 98N(10.0kgf) 2.7kg
NFS100-100UPX 175x100mm 100mm 2μm 0.4μm 98N(10.0kgf) 3.7kg
NFS120-50UPX 120x120mm 50mm 1μm 0.4μm 98N(10.0kgf) 3.0kg
NFS120-100UPX 175x120mm 100mm 2μm 0.4μm 98N(10.0kgf) 4.0kg

※多点誤差補正機能を有効にした場合の値です。

 

 

NFSフィードバックステージ用ケーブル

フィードバックステージ(NFSシリーズ)に使用する各種ケーブルをご用意しています。
D15H12A-RC-3は、NFSシリーズと3軸コントローラ(SHRC-203)を接続するモーターケーブルです。
DM15HD14A-RC-3は、 NFSシリーズと3軸ステージコントローラ(SHRC-203)を接続するスケールケーブルです。
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