1nmフィードバックステージ (NFS-UPX)
CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。
ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
フィードバックステージ (NFSシリーズ) 対応コントローラ (SHRC-203) をご用意しています。
分解能1nmタイプは、6種類のテーブル面サイズから選択ができます。
NFSシリーズ移動量を選定するポイント
※下記以外の移動量が必要な場合には、営業までお問合せください。
移動量 | テーブル面サイズ | ポイント |
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20mm | 75x60mm | 省スペースタイプ、移動量が短くても十分な場合に使用します。 |
40mm | 110x60mm | 最も安定性があり、設置スペースに余裕がある場合にはおすすめのステージです。 |
50mm | 100×100mm、120×120mm | 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。 |
100mm | 175×100mm、175×120mm | 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。 |
200mm | 230×180mm | 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。分解能10nm、50nmをラインナップしています。 |
300mm | 330×180mm | 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。分解能10nm、50nmをラインナップしています。 |
フィードバックステージ(NFSシリーズ) 分解能別移動量ラインナップ表 |
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(分解能1nm) NFS-UPXシリーズラインナップ一覧
品番 | テーブル面サイズ | 移動量 | 位置決め精度※ | 繰り返し 位置決め精度※ |
耐荷重 | 質量 |
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NFS60-20UPX | 75x60mm | 20mm | 1μm | 0.4μm | 49N(5.0kgf) | 0.5kg |
NFS60-40UPX | 110x60mm | 40mm | 1μm | 0.4μm | 49N(5.0kgf) | 1.0kg |
NFS100-50UPX | 100x100mm | 50mm | 1μm | 0.4μm | 98N(10.0kgf) | 2.7kg |
NFS100-100UPX | 175x100mm | 100mm | 2μm | 0.4μm | 98N(10.0kgf) | 3.7kg |
NFS120-50UPX | 120x120mm | 50mm | 1μm | 0.4μm | 98N(10.0kgf) | 3.0kg |
NFS120-100UPX | 175x120mm | 100mm | 2μm | 0.4μm | 98N(10.0kgf) | 4.0kg |
※多点誤差補正機能を有効にした場合の値です。
NFSフィードバックステージ用ケーブル
フィードバックステージ(NFSシリーズ)に使用する各種ケーブルをご用意しています。D15H12A-RC-3は、NFSシリーズと3軸コントローラ(SHRC-203)を接続するモーターケーブルです。
DM15HD14A-RC-3は、 NFSシリーズと3軸ステージコントローラ(SHRC-203)を接続するスケールケーブルです。