50nmフィードバックステージ (NFS-X)

CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。

ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
フィードバックステージ(NFSシリーズ)対応コントローラ(SHRC-203)をご用意しています。
分解能50nmタイプは、８種類のテーブル面サイズから選択ができます。

NFSシリーズ移動量を選定するポイント

※下記以外の移動量が必要な場合には、営業までお問合せください。

移動量	テーブル面サイズ	ポイント
20mm	75x60mm	省スペースタイプ、移動量が短くても十分な場合に使用します。
40mm	110x60mm	最も安定性があり、設置スペースに余裕がある場合にはおすすめのステージです。
50mm	100×100mm、120×120mm	長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。
100mm	175×100mm、175×120mm	長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。
200mm	230×180mm	長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。分解能10nm、50nmをラインナップしています。
300mm	330×180mm	長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。分解能10nm、50nmをラインナップしています。

フィードバックステージ（NFSシリーズ）分解能別移動量ラインナップ表

(分解能50nm) NFS-Xシリーズラインナップ一覧

品番	テーブル面サイズ	移動量	位置決め精度^※	繰り返し位置決め精度^※	耐荷重	質量
NFS60-20X	75x60mm	20mm	1μm	0.5μm	49N(5.0kgf)	0.5kg
NFS60-40X	110x60mm	40mm	1μm	0.5μm	49N(5.0kgf)	1.0kg
NFS100-50X	100x100mm	50mm	1μm	0.5μm	98N(10.0kgf)	2.7kg
NFS100-100X	175x100mm	100mm	2μm	0.5μm	98N(10.0kgf)	3.7kg
NFS120-50X	120x120mm	50mm	1μm	0.5μm	98N(10.0kgf)	3.0kg
NFS120-100X	175x120mm	100mm	2μm	0.5μm	98N(10.0kgf)	4.0kg
NFS180-200X	230x180mm	200mm	2μm	0.6μm	196N(20.0kgf)	13.2kg
NFS180-300X	330x180mm	300mm	2μm	0.6μm	196N(20.0kgf)	17kg

※多点誤差補正機能を有効にした場合の値です。

NFSフィードバックステージ用ケーブル

フィードバックステージ(NFSシリーズ)に使用する各種ケーブルをご用意しています。
D15H12A-RC-3は、NFSシリーズと3軸コントローラ(SHRC-203)を接続するモーターケーブルです。
DM15HD14A-RC-3は、 NFSシリーズと3軸ステージコントローラ(SHRC-203)を接続するスケールケーブルです。