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薄型ZF軸自動ステージ / OSMS60-5ZFW

ステージの昇降構造として、クサビ機構を採用した薄型の水平面Z軸ステージです。

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品番
OSMS60-5ZFW
¥225,000
  • クロスローラガイド(スリップレス構造)とボールスプラインを組み合わせたクサビ機構の移動ガイドにより、ステージの全高を薄型化しました。
  • モータが無励磁状態でも、耐荷重値以内の荷重であれば搭載物を保持することが可能です。
  • テーブル面サイズは、60x60・65x65・120x120mmから選択できます。移動量は全サイズ同様の5mmです。
  • METRIC・INCHタイプのステージ本体は共通です。
  • テーブル面への取付けは、各サイズそれぞれMETRICとINCHタイプをご用意しています。
その他の情報
カタログコード W9323
RoHS Yes
CE Yes
資料ダウンロード
CADデータ
ご案内
  • モータ交換等をご希望される場合は営業までお問い合わせください。
ご注意
  • 天地逆転や垂直面に取り付けて使用する場合、一部の仕様を満たさない場合があります。具体的な使用条件等の詳細は営業までお問い合わせください。
  • クサビ方式を採用しているため、ステージを移動させる際にテーブル面から突起および全高がかわりますので、外形図でご確認ください。
仕様
メカ仕様
移動量5mm
テーブル面サイズ60×60mm
送りネジボールネジ径φ6mm リード1mm
移動機構(減速比)クサビ方式(1:5)
移動ガイドクロスローラ/リニアシャフト
主要材質アルミ
表面処理黒アルマイト
質量1.3kg
精度仕様
分解能(Full)0.4μm/パルス
分解能(Half)0.2μm/パルス
MAXスピード1.5mm/sec
繰返し位置決め精度1μm
耐荷重58.8N (6.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング1.5”/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング1”/N・cm
モーメント剛性/ローリング1.5”/N・cm
ロストモーション2μm
平行度50μm
走り平行度15μm
ピッチング30”
ヨーイング30”
センサ
センサ品番マイクロフォトセンサ:GP1S097HCZ(シャープ製)
リミットセンサ有(NORMAL CLOSE)
原点センサ有(NORMAL OPEN)
近接原点センサ
モータ
タイプ5相ステッピングモータ 0.5A/相
モータ品番PK545-NBW (オリエンタルモーター(株))
基本ステップ角0.72゜
センサ
電源電圧DC5~24V ±10%
消費電流60mA以下(1センサあたり20mA以下)
制御出力NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
残留電圧0.4V以下(負荷電流16mA時)
残留電圧0.7V以下(負荷電流50mA時)
出力論理遮光時:出力トランジスタOFF (非導通) : リミットセンサ
遮光時:出力トランジスタON (導通) : 原点センサ