1nmフィードバックステージ / NFS60-20UPX
CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。
分解能1nmタイプは、６種類のテーブル面サイズから選択ができます。
分解能1nmタイプは、６種類のテーブル面サイズから選択ができます。
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品番
NFS60-20UPX
￥700,000
- ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
- ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
- フィードバックステージ(NFSシリーズ)対応コントローラ(SHRC-203)をご用意しています。
| カタログコード | W9315 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| RoHS | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CE | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資料ダウンロード | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CADデータ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ご案内 |
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| ご注意 |
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| 仕様 |
※1 分解能はSHRCコントローラ接続時にAutoConfigにより自動的に設定されます。 |
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| 動画 |
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