10nmフィードバックステージ / NFS60-40PX
CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。
分解能10nmタイプは、８種類のテーブル面サイズから選択ができます。
分解能10nmタイプは、８種類のテーブル面サイズから選択ができます。
在庫お問合せ
品番
NFS60-40PX
￥430,000
- ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
- ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
- フィードバックステージ(NFSシリーズ)対応コントローラ(SHRC-203)をご用意しています。
| カタログコード | W9316 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| RoHS | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CE | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資料ダウンロード | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CADデータ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ご案内 |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ご注意 |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 仕様 |
※1 分解能はSHRCコントローラ接続時にAutoConfigにより自動的に設定されます。 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 動画 |
関連商品
