3波長対物レンズ (PFL-UV/NUV-AG)
YAGの2倍波 (532nm)、3倍波 (355nm)、4倍波 (266nm) の3波長パルスレーザ加工装置に使用できる対物レンズです。YAGの3波長で、高い透過率を実現しています。
作動距離 (WD) が長く、像面湾曲が補正されていて、視野周辺部まで自然な観察像が得られます。同軸観察系やレーザ導入光学系などに使用できる、無限遠補正の対物レンズです。
可視光 (400~500nm) で試料の観察ができます。
レーザ耐力 (参考値) 0.09 J/cm2 (266nm)、0.1J/cm2 (355nm)、0.2J/cm2 (532nm)
(レーザパルス幅:10ns、繰返し周波数:20Hz)
PFL-UV/NUV-AG仕様
品番 | 対物レンズ名 | 倍率 | 焦点距離 | NA | 作動距離 WD |
分解能 (λ=550nm) |
焦点深度 (λ=550nm) |
実視野 (φ24接眼) |
実視野 (1/2”CCD) |
質量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
PFL-10-UV/NUV-AG | Plan UV/NUV 10x | 10倍 | 20mm | 0.20 | 13.5mm | 1.38μm | ±6.9μm | φ2.4mm | 0.48×0.64mm | 0.30kg |
PFL-20-UV/NUV-AG-A | Plan UV/NUV 20x | 20倍 | 10mm | 0.36 | 15.07mm | 0.76μm | ±2.1μm | φ1.2mm | 0.24×0.32mm | 0.35kg |
PFL-50-UV/NUV-AG-A | Plan UV/NUV 50x | 50倍 | 4mm | 0.42 | 12.0mm | 0.65μm | ±1.6μm | φ0.48mm | 0.10×0.13mm | 0.41kg |
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