3波長対物レンズ (PFL-UV/NUV-AG)

YAGの2倍波 (532nm)、3倍波 (355nm)、4倍波 (266nm) の3波長パルスレーザ加工装置に使用できる対物レンズです。YAGの3波長で、高い透過率を実現しています。

作動距離 (WD) が長く、像面湾曲が補正されていて、視野周辺部まで自然な観察像が得られます。
同軸観察系やレーザ導入光学系などに使用できる、無限遠補正の対物レンズです。
可視光 (400~500nm) で試料の観察ができます。
レーザ耐力 (参考値) 0.09 J/cm2 (266nm)、0.1J/cm2 (355nm)、0.2J/cm2 (532nm)
(レーザパルス幅:10ns、繰返し周波数:20Hz)


 

PFL-UV/NUV-AG仕様

品番 対物レンズ名 倍率 焦点距離 NA 作動距離
WD
分解能
(λ=550nm)
焦点深度
(λ=550nm)
実視野
(φ24接眼)
実視野
(1/2”CCD)
質量
PFL-10-UV/NUV-AG Plan UV/NUV 10x 10倍 20mm 0.20 13.5mm 1.38μm ±6.9μm φ2.4mm 0.48×0.64mm 0.30kg
PFL-20-UV/NUV-AG-A Plan UV/NUV 20x 20倍 10mm 0.36 15.07mm 0.76μm ±2.1μm φ1.2mm 0.24×0.32mm 0.35kg
PFL-50-UV/NUV-AG-A Plan UV/NUV 50x 50倍 4mm 0.42 12.0mm 0.65μm ±1.6μm φ0.48mm 0.10×0.13mm 0.41kg
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