スーパーミラー (TFHSM)

距離や時間の極限の精度を光を使って求めるときには、ファブリペローの共振器 (キャビティー) が使われます。 スーパーミラーはこの共振器の性能を上げるために、反射率を限りなく1に近づけた超高性能なミラーです。

イオンビームスパッタリング法 (IBS) を使用して、緻密で欠陥の少ない高品質な膜が蒸着されています。
特殊な研磨技術を用い、表面粗さRa0.1nm以下の低散乱基板を使用しています。
長年築き上げてきた膜設計技術により、反射率99.999%の反射膜を実現しました。
基板や膜による散乱損失は極めて小さく、キャビティーを構成したときに、非常に狭いスペクトル幅と高いフィネスが期待できます。
波長532nmと1064nmの2タイプをご用意しています。

 

TFHSM共通仕様

材質 合成石英
コーティング 表面 誘電体多層高反射コート
裏面 誘電体多層反射防止コート
入射角度
基板面精度 λ/10
平行度 <5″
スクラッチ-ディグ 10-5
有効径 外径の80%
裏面反射率 <0.15%
形状 平面基板

 

機能説明図 外形図

 

品番 適応波長 外径
φD
厚さ
t
反射率※1 損失※2
TFHSM-12.7C06-532 532nm φ12.7mm 6mm 99.995% 20ppm
TFHSM-25C06-532 532nm φ25mm 6mm 99.995% 20ppm
TFHSM-25.4C06-532 532nm φ25.4mm 6mm 99.995% 20ppm
TFHSM-30C06-532 532nm φ30mm 6mm 99.995% 20ppm
TFHSM-50C08-532 532nm φ50mm 8mm 99.995% 20ppm
TFHSM-12.7C06-1064 1064nm φ12.7mm 6mm 99.999% 8ppm
TFHSM-25C06-1064 1064nm φ25mm 6mm 99.999% 8ppm
TFHSM-25.4C06-1064 1064nm φ25.4mm 6mm 99.999% 8ppm
TFHSM-30C06-1064 1064nm φ30mm 6mm 99.999% 8ppm
TFHSM-50C08-1064 1064nm φ50mm 8mm 99.999% 8ppm

※1 CRD法で測定した反射率ですが、測定方法や測定条件によって変化することがあります。
※2 この値は参考データです。製品にはデータは添付されません。

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