スーパーミラー (TFHSM)
距離や時間の極限の精度を光を使って求めるときには、ファブリペローの共振器 (キャビティー) が使われます。 スーパーミラーはこの共振器の性能を上げるために、反射率を限りなく1に近づけた超高性能なミラーです。
イオンビームスパッタリング法 (IBS) を使用して、緻密で欠陥の少ない高品質な膜が蒸着されています。特殊な研磨技術を用い、表面粗さRa0.1nm以下の低散乱基板を使用しています。
長年築き上げてきた膜設計技術により、反射率99.999%の反射膜を実現しました。
基板や膜による散乱損失は極めて小さく、キャビティーを構成したときに、非常に狭いスペクトル幅と高いフィネスが期待できます。
波長532nmと1064nmの2タイプをご用意しています。
TFHSM共通仕様
材質 | 合成石英 | |
---|---|---|
コーティング | 表面 誘電体多層高反射コート 裏面 誘電体多層反射防止コート |
|
入射角度 | 0° | |
基板面精度 | λ/10 | |
平行度 | <5″ | |
スクラッチ-ディグ | 10-5 | |
有効径 | 外径の80% | |
裏面反射率 | <0.15% | |
形状 | 平面基板 |
機能説明図 | 外形図 |
---|---|
品番 | 適応波長 | 外径 φD |
厚さ t |
反射率※1 | 損失※2 |
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TFHSM-12.7C06-532 | 532nm | φ12.7mm | 6mm | 99.995% | 20ppm |
TFHSM-25C06-532 | 532nm | φ25mm | 6mm | 99.995% | 20ppm |
TFHSM-25.4C06-532 | 532nm | φ25.4mm | 6mm | 99.995% | 20ppm |
TFHSM-30C06-532 | 532nm | φ30mm | 6mm | 99.995% | 20ppm |
TFHSM-50C08-532 | 532nm | φ50mm | 8mm | 99.995% | 20ppm |
TFHSM-12.7C06-1064 | 1064nm | φ12.7mm | 6mm | 99.999% | 8ppm |
TFHSM-25C06-1064 | 1064nm | φ25mm | 6mm | 99.999% | 8ppm |
TFHSM-25.4C06-1064 | 1064nm | φ25.4mm | 6mm | 99.999% | 8ppm |
TFHSM-30C06-1064 | 1064nm | φ30mm | 6mm | 99.999% | 8ppm |
TFHSM-50C08-1064 | 1064nm | φ50mm | 8mm | 99.999% | 8ppm |
※1 CRD法で測定した反射率ですが、測定方法や測定条件によって変化することがあります。
※2 この値は参考データです。製品にはデータは添付されません。
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