レーザライン誘多膜平面ミラー (TFM)
極めて高い反射率特性を持ち、多様な波長特性をラインナップした誘電体多層膜ミラーです。 各種レーザの波長に反射帯を合わせたレーザライン誘多膜ミラーです。
高い反射率が得られているので、複数のミラーを反射させても損失が小さく、レーザビームの引き回し用ミラーとして最適です。誘電体多層膜のミラーなので、ミラー面に傷がつきにくく、クリーニングが可能です。
膜に吸収がないので、経時変化が少なく、連続的なレーザの照射にも耐えられます。
TFM共通仕様
| 材質 | BK7 |  |
|---|---|---|
| コーティング | 誘電体多層膜 | |
| 入射角度 | 45°±3° | |
| 基板面精度 | λ/10、 光学研磨 (TFM-157) | |
| 平行度 | ＜3′ | |
| スクラッチ－ディグ | 10-5 (TFM-157: 40-20) | |
| 有効径 | 外径の90％ |
| 機能説明図 | 外形図 |
|---|---|
 |
 |
| 品番 | 適応波長 | 外径 φD |
厚さ t |
反射率 | レーザ耐力※ | 裏面 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| TFM-30C03-157 | 157nm | φ30mm | 3mm | ＞95.0％ | 0.5J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C05-157 | 157nm | φ50mm | 5mm | ＞95.0％ | 0.5J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-25.4C05-193 | 193nm | φ25.4mm | 5mm | ＞95.0％ | 0.8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-193 | 193nm | φ30mm | 5mm | ＞95.0％ | 0.8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-193 | 193nm | φ50mm | 8mm | ＞95.0％ | 0.8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-25.4C05-248 | 248.4nm | φ25.4mm | 5mm | ＞99％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-248 | 248.4nm | φ30mm | 5mm | ＞99％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-248 | 248.4nm | φ50mm | 8mm | ＞99％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-25.4C05-266 | 266nm | φ25.4mm | 5mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-266 | 266nm | φ30mm | 5mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-266 | 266nm | φ50mm | 8mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-25.4C05-282 | 281.8nm | φ25.4mm | 5mm | ＞99.3％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-282 | 281.8nm | φ30mm | 5mm | ＞99.3％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-282 | 281.8nm | φ50mm | 8mm | ＞99.3％ | 2J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-25.4C05-308 | 308nm | φ25.4mm | 5mm | ＞99.5％ | 3J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-308 | 308nm | φ30mm | 5mm | ＞99.5％ | 3J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-308 | 308nm | φ50mm | 8mm | ＞99.5％ | 3J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-25.4C05-325/337 | 325～337nm | φ25.4mm | 5mm | ＞99.5％ | 3J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-325/337 | 325～337nm | φ30mm | 5mm | ＞99.5％ | 3J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-325/337 | 325～337nm | φ50mm | 8mm | ＞99.5％ | 3J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-25.4C05-352/355 | 352～355nm | φ25.4mm | 5mm | ＞99.5％ | 5J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-352/355 | 352～355nm | φ30mm | 5mm | ＞99.5％ | 5J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-352/355 | 352～355nm | φ50mm | 8mm | ＞99.5％ | 5J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-12.7C05-532 | 532nm | φ12.7mm | 5mm | ＞99.5％ | 8J/cm2 | 砂面 |
| TFM-25C05-532 | 532nm | φ25mm | 5mm | ＞99.5％ | 8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-25.4C05-532 | 532nm | φ25.4mm | 5mm | ＞99.5％ | 8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-532 | 532nm | φ30mm | 5mm | ＞99.5％ | 8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-40C06-532 | 532nm | φ40mm | 6mm | ＞99.5％ | 8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-532 | 532nm | φ50mm | 8mm | ＞99.5％ | 8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50.8C08-532 | 532nm | φ50.8mm | 8mm | ＞99.5％ | 8J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-12.7C05-1064 | 1064nm | φ12.7mm | 5mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 | 砂面 |
| TFM-25.4C05-1064 | 1064nm | φ25.4mm | 5mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-30C05-1064 | 1064nm | φ30mm | 5mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-40C06-1064 | 1064nm | φ40mm | 6mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50C08-1064 | 1064nm | φ50mm | 8mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 | 研磨面 |
| TFM-50.8C08-1064 | 1064nm | φ50.8mm | 8mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 | 研磨面 |
※レーザパルス幅 10ns（TFM-157とTFM-193は20ns)、繰り返し周波数 20Hz
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