高剛性・精密型自動ステージ / OSMS33-800(X)
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
移動量は800mmを確保できるため、広範囲にわたり移動させることが可能です。
移動量は800mmを確保できるため、広範囲にわたり移動させることが可能です。
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品番
OSMS33-800(X)
¥488,000
◦レールの形状は、U字形として軽量化をはかり、たわみを最小に抑えた高剛性仕様となっています。
カタログコード | W9071 | |||||||||||
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RoHS | Yes | |||||||||||
CE | No | |||||||||||
資料ダウンロード | ||||||||||||
CADデータ | ||||||||||||
ご案内 |
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ご注意 |
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MAXスピード | 120mm/sec | |||||||||||
ステージ上面材質 | アルミ | |||||||||||
センサ品番 | マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱) | |||||||||||
テーブル面サイズ | 120×120mm | |||||||||||
バックラッシ | 3μm | |||||||||||
ピッチング | 45″ | |||||||||||
モーメント剛性/ピッチング | 0.12″/N・cm | |||||||||||
モーメント剛性/ヨーイング | 0.08″/N・cm | |||||||||||
モーメント剛性/ローリング | 0.1″/N・cm | |||||||||||
ヨーイング | 30″ | |||||||||||
リミットセンサ | 有(NORMAL CLOSE) | |||||||||||
ロストモーション | 5μm | |||||||||||
位置決め精度 | 30μm | |||||||||||
移動ガイド | アウターレール構造 | |||||||||||
移動量 | 800mm | |||||||||||
近接原点センサ | 有(NORMAL OPEN) | |||||||||||
繰返し位置決め精度 | 8μm | |||||||||||
原点センサ | 有(NORMAL OPEN) | |||||||||||
質量 | 15.8kg | |||||||||||
走り平行度 | 30μm | |||||||||||
送りネジ | ボールネジ径φ10mm、リード10mm | |||||||||||
耐荷重 | 196N(20.0kgf) | |||||||||||
表面処理 | 黒アルマイト | |||||||||||
分解能(Full) | 20μm/パルス | |||||||||||
分解能(Half) | 10μm/パルス | |||||||||||
平行度 | 50μm | |||||||||||
センサ 出力論理 | 遮光時 : 出力トランジスタOFF(非導通) : リミットセンサ 遮光時 : 出力トランジスタON(導通) : 原点センサ、近接原点センサ |
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センサ 消費電流 | 80mA以下(1センサあたり20mA以下) | |||||||||||
センサ 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 | |||||||||||
センサ 電源電圧 | DC5~24V±10% | |||||||||||
モータ ステップ角 | 0.72° | |||||||||||
モータ タイプ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相 (多摩川精機㈱) |
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モータ 品番 | TS3667N43E967(□42mm) | |||||||||||
適応コントローラ | SHOT-702H、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-MV・HIT-SA、PGC-04-U、HSC-103 | |||||||||||
適応ドライバ | MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-S7514PCL |