X軸ピエゾアシストステージ / TADC-251SRPA
手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。
TADC-PAシリーズの紹介動画はこちらからご確認ください。
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在庫あり
品番
TADC-251SRPA
¥67,500
◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。
カタログコード | W7156 |
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RoHS | Yes |
CE | Yes |
資料ダウンロード | |
CADデータ | |
ご案内 | ▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル(2m)が付属しています。 |
ご注意 | ▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。 ▶ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。 |
テーブル面サイズ | 25×25mm |
微動最小分解能 | 20nm以下 |
マイクロメータ最小読取 | 0.01mm |
マイクロ操作位置 | サイド |
モーメント剛性/ピッチング | 2.5″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 2.0″/N・cm |
移動ガイド | ボールガイド |
移動精度/真直度 | 3μm |
移動平行度 | 10μm |
移動量/1回転 | 0.5mm |
許容モーメント荷重/ピッチング | 2.0N・m |
許容モーメント荷重/ヨーイング | 1.9N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 1.9N・m |
質量 | 0.07kg |
主要材質 | アルミ |
粗動移動量 | ±3mm |
耐荷重 | 39.2N(4.0kgf) |
微動移動量 | 25µm以上 |
表面処理 | 黒アルマイト |
平行度 | 30μm |
動画 |