X軸ピエゾアシストステージ / TADC-251SRPA

手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。
TADC-PAシリーズの紹介動画はこちらからご確認ください。
在庫あり
品番
TADC-251SRPA
¥67,500
◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。
その他の情報
カタログコード W7156
RoHS Yes
CE Yes
資料ダウンロード
CADデータ
ご案内 ▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル(2m)が付属しています。
ご注意 ▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。
▶ピエゾアシスト専用コントローラ(PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。
テーブル面サイズ 25×25mm
微動最小分解能 20nm以下
マイクロメータ最小読取 0.01mm
マイクロ操作位置 サイド
モーメント剛性/ピッチング 2.5″/N・cm
モーメント剛性/ローリング 2.0″/N・cm
移動ガイド ボールガイド
移動精度/真直度 3μm
移動平行度 10μm
移動量/1回転 0.5mm
許容モーメント荷重/ピッチング 2.0N・m
許容モーメント荷重/ヨーイング 1.9N・m
許容モーメント荷重/ローリング 1.9N・m
質量 0.07kg
主要材質 アルミ
粗動移動量 ±3mm
耐荷重 39.2N(4.0kgf)
微動移動量 25µm以上
表面処理 黒アルマイト
平行度 30μm
動画