Z軸ピエゾアシストステージ（垂直面取付) / TADC-251SRZPA
手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができる垂直面取付タイプのZ軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステム
に最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。
TADC-PAシリーズの紹介動画はこちらからご確認ください。
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在庫あり
品番
TADC-251SRZPA
￥67,500
◦ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。
| カタログコード | W7158 |
|---|---|
| RoHS | Yes |
| CE | Yes |
| 資料ダウンロード | |
| CADデータ | |
| ご案内 | ▶微動機構の調整には、ピエゾアシスト専用コントローラ（PASC)をご使用ください。ピエゾアシストステージには、ピエゾアシストコントローラ専用接続ケーブル（2m）が付属しています。 |
| ご注意 | ▶ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。 ▶ピエゾアシスト専用コントローラ（PASC)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。 |
| 直角度 | － |
| テーブル面サイズ | 25×25mm |
| 微動最小分解能 | 20nm以下 |
| マイクロメータ最小読取 | 0.01mm |
| マイクロ操作位置 | サイド |
| モーメント剛性/ピッチング | 6.0″/N・cm |
| 移動ガイド | ボールガイド |
| 移動精度/真直度 | 3μm |
| 移動平行度 | 20μm |
| 移動量/1回転 | 0.5mm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 1.47N・m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 1.47N・m |
| 質量 | 0.07kg |
| 主要材質 | アルミ |
| 粗動移動量 | ±3mm |
| 耐荷重 | 9.8N（1.0kgf） |
| 微動移動量 | 25µm以上 |
| 表面処理 | 黒アルマイト |
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