扫描光学系统和聚光光学系统 - 西格玛光机株式会社

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扫描光学系统和聚光光学系统

应用系统

激光加工

扫描光学系统和聚光光学系统

无掩模光刻，一般根据CAD数据进行直描加工。
根据扫描方法不同，可分为扫描光学系统和聚光光学系统。（也有两者结合的混合型）

	扫描光学系统	聚光光学系统
扫描方法	振镜扫描	平台扫描
扫描速度	高速	低速
扫描区域	小	大
聚光方法	fθ透镜	物镜
光斑尺寸	数10μ 〜数100μ	亚微米〜数10μ
焦点深度	大	小

扫描系统

聚光系统（附观察系统）