应用系统
显微镜
目录编号:W2011
光学分辨率检验板 RTT


此产品是把Romchi Ruling平行图案,楔形波规律图案与USAF光学分辨率检验板收存到一张里的检验板。
确定或确认光学系统的性能或摄像镜头分辨率时使用。
每1 mm的线对数每隔7级_加一倍。(线对由一条暗部与一条亮部构成。)
USAF光学分辨率检验板包括正片和负片两种类型。
Ronchi Ruling

① 〜 ⑪ 平行图案

图案间平行度 ≦ 2″
对于基板的图案平行度 ±1°
编 号 LP/mm 图案长度(mm)
2.5 100
5 100
10 100
25 100
50 86
71.4 86
100 86
125 86
166.7 40
200 40
250 40

⑫ 楔形波规律图案

空间频率 0.19〜57.5LP/mm
线宽 0.009〜2.63mm
楔角 5°
USAF光学分辨率检验板
线号 分组号
0 1 2 3 4 5 6 7
1 1 2 4 8 16 32 64 128
2 1.12 2.24 4.49 8.98 17.95 36 71.8 144
3 1.26 2.52 5.04 10.1 20.16 40.3 80.6 161
4 1.41 2.83 5.66 11.3 22.62 45.3 90.5 181
5 1.59 3.17 6.35 12.7 25.39 50.8 102 203
6 1.78 3.56 7.13 14.3 28.51 57 114 228
编号

最小空间频率
(组号一号线)
最大空间频率
(组号一号线)
正片 0-1 7-6
负片 0-1 7-6
正片 4-1 7-6
负片 4-1 7-6
⑭的负片图案尺寸 长22mm×宽22mm
⑯⑯的负片图案尺寸 长12.5mm×宽15mm
⑮、⑯布置了9个(横竖3×3)前述的图案。
光学分辨率检验板
品番 对应波长[nm] 尺寸(公差)[mm] t(公差)[mm] 材質 铬膜OD 反面 平行 購入
RTT-127S2.3-1 400〜700 126.6×126.6(±0.2) 2.3(±0.1) 合成石英 >3 防反射膜 3分以内