50nm分辨率闭环控制平台 / NFS180-300X
使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。
50nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。
50nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。
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型号
NFS180-300X
- 由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。
- 从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。
- 提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。
| 目录编号 | W9317 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| RoHS | 是 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CE | 是 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 信息 |
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| 注意 |
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| 技术指标 |
※1连接到SHR控制器后，AutoConfig功能自动设定分辨率。 |
