新产品

10nm分辨率闭环控制平台 / NFS60-40PX

使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台,经CE和UKCA认证。内置光栅尺,具有高重复定位精度和高分辨率。
10nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。
有货
现货库存数2
型号
NFS60-40PX
  • 由于采用滚珠丝杠驱动,与压电平台相比,可移动距离较长,有各种行程和台面尺寸可供选择。
  • 从提高可用性的观点出发,实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。
  • 提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。
更多信息
目录编号 W9316
RoHS
CE
资料下载
图纸下载
信息
注意
  • 请在温度变化幅度不大的环境中使用。(推荐:23±1℃)
  • 请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。
  • 请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。
  • 如需安装大于台面尺寸的工件,请向我们咨询。
技术指标
行程40mm
台面尺寸110x60mm
丝杠滚珠丝杠直径φ4mm、导程1mm
导轨形式十字交叉滚柱导轨
平台台面材料铝合金
表面处理黑色氧化
自重1.0kg
分辨率(整步)2μm/脉冲 ※1
分辨率(半步)1μm/脉冲 ※1
最大速度10mm/sec
定位精度1μm ※2
重复定位精度0.5μm ※2
微小范围双方向重复定位精度±20nm ※3
最小位移量 (参考数据)30nm
承载能力49N(5.0kgf)
扭矩刚度/俯仰0.5″/N・cm
扭矩刚度/偏摆0.5″/N・cm
扭矩刚度/转动0.5″/N・cm
空行程0.5μm
传动副间隙1μm
平行度50μm
运动平行度10μm
俯仰15″
偏摆15″
电机 类型5相步进电机 0.35A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机 型号PK523PMB-C5(□28mm)
光栅尺分辨率10nm

※1连接到SHR控制器后,AutoConfig功能自动设定分辨率。
※2 启用多点纠错功能时的数值。
※3 在微小范围内进行重复定位精度测量(ISO)所得到的结果。 NFS-PX系列10nm闭环控制平台测量步长(间距):50nm