サブミクロンフィードバックステージ専用コントローラ / FC-411
サブミクロンフィードバックステージ(FS-Xシリーズ)を制御する専用コントローラです。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
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品番
FC-411
¥550,000
カタログコード | W9308 |
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RoHS | Yes |
CE | No |
資料ダウンロード | |
ご案内 | ▶WEBより以下のサンプルプログラムをダウンロード可能です。 ◦SG Sample 32/64ビット版Windows®用(RS232Cのみ) ◦LabVIEW RS232C/GPIB/(TCP_IP)用 (バージョン2014/2015/2016/2017/2018/2019用) ▶FC-411の取扱説明書はこちらから。 ▶FC-414の取扱説明書はこちらから。 ▶ナノステージコントローラ操作ガイド動画 (表示及び操作編)はこちらから。 (通信操作編)はこちらから。 (パラメータ編)はこちらから。 (TEACH操作編)はこちらから。 |
インポジション範囲 | ±50nm (±150,±350nm選択可能) |
スローダウンセンサ入力 | 非対応 |
最小指令単位 | 50nm |
最大移動距離設定範囲 | ー6710.88640~+6710.88635mm |
最大動作速度設定値 | 100mm/sec |
制御軸数 | 2軸 |