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自動ステージ

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ステージ・コントローラ・セット
対物レンズ用
真空仕様
スケール付
オプション(落下防止機構、グリース交換等)
- コントローラ/ドライバ
1軸ステージコントローラ
2軸ステージコントローラ(ハーフステップ)
2軸ステージコントローラ(マイクロステップ)
3軸ステージコントローラ
3軸コントローラ
インテリジェントポジショナ
2軸/4軸ステージコントローラ
多軸リンクコントローラ
パルスジェネレータ
ジョイスティックターミナル
ジョグダイヤル
多軸ジョグダイヤルハンディコンソール
ジョイスティックコントローラ/ジョグオペレーションボックス
コントロールパッド
ドライバ
- ケーブル
自動ステージケーブル
その他ケーブル
- ナノステージシステム
1nmフィードバックステージ (NFS-UPX)
10nmフィードバックステージ (NFS-PX)
50nmフィードバックステージ (NFS-X)
NFSフィードバックステージ用ケーブル (NFS-CABLE)
3軸ステージコントローラ (SHRC-203)
1nmフィードバックステージシステム
5nmフィードバックステージシステム
10nmフィードバックステージシステム
サブミクロンフィードバックステージシステム
ジョグコントローラ
多軸ジョグダイヤルハンディコンソール
フィードバックステージ使用ケーブル
- ソフトウエア
ソフトウェア紹介
自動計測・制御ソフトウェア(SGADVANCE)
自動計測・制御ソフトウェア(高機能版)(SGADVANCE+PLUS)
汎用ターミナルソフトウエア(SGTERM)
計測・制御ソフトウエア(SGEMCS)
計測・制御・解析ソフトウェア (SGMACS)
コリメーション自動計測ソフトウェア (SGCAMS)
観察・制御ソフトウェア (SGVIEW)
液晶評価用ソフトウェア (SGLCES)
VB.NET用コンポーネントソフトウェア (SGNETX)
自動位置・姿勢決め・計測制御用ActiveX (SGACTX)
PAT制御用ActiveX (SGPATX)
ファインステージ制御用ActiveX (SGSFSX)
USBキー