自動ステージ

自動ステージ
ステッピングモータ
直動系直動系
回転系回転系
ゴニオゴニオ
ステージ・コントローラ・セットステージ・コントローラ・セット
対物レンズ用対物レンズ用
真空仕様真空仕様
スケール付スケール付
オプション(落下防止機構、グリース交換等)オプション (落下防止機構、グリース交換等)
ドライバ内蔵
X軸ドライバ一体型自動ステージX軸ドライバ一体型自動ステージ (SBIS-X)
Z軸ドライバ一体型自動ステージZ軸ドライバ一体型自動ステージ (SBIS-Z)
Z軸ドライバ一体型自動ステージ専用ケーブル・ACアダプタ (SBIS-CABLE)
ACサーボ
ACサーボモータ駆動システムACサーボモータ駆動システム (SGMV-0C)
ACサーボモータステージ用ケーブルACサーボモータステージ用ケーブル
パルスジェネレータパルスジェネレータ (PGC-04-U)
コントローラ/ドライバ
1軸ステージコントローラ1軸ステージコントローラ (GSC-01)
2軸ステージコントローラ (ハーフステップ)2軸ステージコントローラ (ハーフステップ) (GSC-02C)
2軸ステージコントローラ(マイクロステップ)2軸ステージコントローラ (マイクロステップ) (SHOT-702H)
3軸ステージコントローラ3軸ステージコントローラ (SHRC-203)
3軸コントローラ3軸コントローラ (HSC-103)
インテリジェントポジショナインテリジェントポジショナ (GIP-101B)
2軸/4軸ステージコントローラ2軸/4軸ステージコントローラ (SHOT-GS)
多軸リンクコントローラ多軸リンクコントローラ (HIT)
パルスジェネレータパルスジェネレータ (PGC-04-U)
ジョイスティックターミナルジョイスティックターミナル (SJT-02)
ジョグダイヤルジョグダイヤル (JD-101)
多軸ジョグダイヤルハンディコンソール多軸ジョグダイヤルハンディコンソール (MD-400)
ジョイスティックコントローラ/ジョグオペレーションボックスジョイスティックコントローラ/ジョグオペレーションボックス (JS-301/JB-401)
コントロールパッドコントロールパッド (CJ-200A)
ドライバドライバ (Drivers)
ケーブル
自動ステージケーブル自動ステージケーブル
その他ケーブルその他ケーブル
高分解能フィードバックステージシステム
1nmフィードバックステージ1nmフィードバックステージ (NFS-UPX)
10nmフィードバックステージ10nmフィードバックステージ (NFS-PX)
50nmフィードバックステージ50nmフィードバックステージ (NFS-X)
NFSフィードバックステージ用ケーブルNFSフィードバックステージ用ケーブル (NFS-CABLE)
3軸ステージコントローラ3軸ステージコントローラ (SHRC-203)
1nmフィードバックステージシステム1nmフィードバックステージシステム (FS-UPX)
5nmフィードバックステージシステム5nmフィードバックステージシステム (FS-SPX)
10nmフィードバックステージシステム10nmフィードバックステージシステム (FS-PX)
サブミクロンフィードバックステージシステムサブミクロンフィードバックステージシステム (FS-X)
ジョグコントローラジョグコントローラ (JC-01)
多軸ジョグダイヤルハンディコンソール多軸ジョグダイヤルハンディコンソール (MD-400)
フィードバックステージ使用ケーブルフィードバックステージ使用ケーブル (FS-CABLE)
ピエゾ
シグマファインステージ(高剛性タイプ)シグマファインステージ(高剛性タイプ) (SFS-H)
透過型XYファインステージ透過型XYファインステージ (SFS-120XY(WA))
対物レンズ駆動ピエゾアクチュエータ対物レンズ駆動ピエゾアクチュエータ (SFS-OBL/SFAI-OBL)
対物レンズ用アダプタ対物レンズ用アダプタ (OBL-ADP)
SFSコントローラ/ケーブルSFSコントローラ/ケーブル (FINE)
ソフトウエア
ソフトウェア紹介ソフトウェア紹介
自動計測・制御ソフトウェア(SGADVANCE)自動計測・制御ソフトウェア (SGADVANCE)
自動計測・制御ソフトウェア(高機能版)(SGADVANCE+PLUS)自動計測・制御ソフトウェア(高機能版) (SGADVANCE+PLUS)
汎用ターミナルソフトウエア(SGTERM)汎用ターミナルソフトウエア (SGTERM)
計測・制御ソフトウエア(SGEMCS)計測・制御ソフトウエア (SGEMCS)
計測・制御・解析ソフトウェア (SGMACS)計測・制御・解析ソフトウェア (SGMACS)
コリメーション自動計測ソフトウェア (SGCAMS)コリメーション自動計測ソフトウェア (SGCAMS)
観察・制御ソフトウェア (SGVIEW)観察・制御ソフトウェア (SGVIEW)
液晶評価用ソフトウェア (SGLCES)液晶評価用ソフトウェア (SGLCES)
VB.NET用コンポーネントソフトウェア (SGNETX)VB.NET用コンポーネントソフトウェア (SGNETX)
自動位置・姿勢決め・計測制御用ActiveX (SGACTX)自動位置・姿勢決め・計測制御用ActiveX (SGACTX)
PAT制御用ActiveX (SGPATX)PAT制御用ActiveX (SGPATX)
ファインステージ制御用ActiveX (SGSFSX)ファインステージ制御用ActiveX (SGSFSX)
USBキーUSBキー