自動ステージ
- ステッピングモータ
直動系
回転系
ゴニオ
ステージ・コントローラ・セット
対物レンズ用
真空仕様20-(X)_p.jpg)
スケール付
オプション（落下防止機構、グリース交換等）
X軸ドライバ一体型自動ステージ (SBIS-X)
Z軸ドライバ一体型自動ステージ (SBIS-Z)
専用ケーブル・ACアダプタ (SBIS-CABLE)
ACサーボモータ駆動システム (SGMV-0C)- コントローラ/ドライバ
1軸ステージコントローラ (GSC-01)
2軸ステージコントローラ (ハーフステップ) (GSC-02A)
2軸ステージコントローラ (マイクロステップ) (SHOT-702H)
3軸ステージコントローラ (SHRC-203)
3軸コントローラ (HSC-103)
インテリジェントポジショナ (GIP-101B)
2軸/4軸ステージコントローラ (SHOT-GS)
多軸リンクコントローラ (HIT)
パルスジェネレータ (PGC-04-U)
ジョイスティックターミナル (SJT-02)
ジョグダイヤル (JD-101)
多軸ジョグダイヤルハンディコンソール (MD-400)
ジョイスティックコントローラ/ジョグオペレーションボックス (JS-301/JB-401)
コントロールパッド (CJ-200A)
ドライバ (Drivers)
- ケーブル
自動ステージケーブル- その他ケーブル
- 高分解能フィードバックステージシステム
1nmフィードバックステージ (NFS-UPX)
10nmフィードバックステージ (NFS-PX)
50nmフィードバックステージ (NFS-X)
NFSフィードバックステージ用ケーブル (NFS-CABLE)- 3軸ステージコントローラ (SHRC-203)
1nmフィードバックステージシステム (FS-UPX)
5nmフィードバックステージシステム (FS-SPX)
10nmフィードバックステージシステム (FS-PX)
サブミクロンフィードバックステージシステム (FS-X)
ジョグコントローラ (JC-01)
多軸ジョグダイヤルハンディコンソール (MD-400)
フィードバックステージ使用ケーブル (FS-CABLE)
- ピエゾ
シグマファインステージ(高剛性タイプ) (SFS-H)_p.jpg)
透過型XYファインステージ (SFS-120XY(WA))
対物レンズ駆動ピエゾアクチュエータ (SFS-OBL/SFAI-OBL)
対物レンズ用アダプタ (OBL-ADP)
SFSコントローラ/ケーブル (FINE)
- ソフトウエア
- ソフトウェア紹介
自動計測・制御ソフトウェア (SGADVANCE)- 自動計測・制御ソフトウェア(高機能版) (SGADVANCE+PLUS)
汎用ターミナルソフトウエア (SGTERM)
計測・制御ソフトウエア (SGEMCS)
計測・制御・解析ソフトウェア (SGMACS)
コリメーション自動計測ソフトウェア (SGCAMS)
観察・制御ソフトウェア (SGVIEW)
液晶評価用ソフトウェア (SGLCES)
VB.NET用コンポーネントソフトウェア (SGNETX)
自動位置・姿勢決め・計測制御用ActiveX (SGACTX)- PAT制御用ActiveX (SGPATX)
- ファインステージ制御用ActiveX (SGSFSX)
- USBキー
