10nmフィードバックステージ専用コントローラ / FC-514
10nmフィードバックステージ（FS-PXシリーズ）を10nmの分解能で制御する専用コントローラです。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
各種エラー検出機能や、汎用I/O、ティーチング機能により安全性及び作業性が高い製品です。
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品番
FC-514
￥700,000
| カタログコード | W9306 |
|---|---|
| RoHS | Yes |
| CE | No |
| 資料ダウンロード | |
| ご案内 | ▶WEBより以下のサンプルプログラムをダウンロード可能です。 ◦SG Sample 32/64ビット版Windows®用（RS232Cのみ） ◦LabVIEW RS232C/GPIB/(TCP_IP)用 (バージョン2014/2015/2016/2017/2018/2019用) ▶FC-511の取扱説明書はこちらから。 ▶FC-514の取扱説明書はこちらから。 ▶ナノステージコントローラ操作ガイド動画 （表示及び操作編）はこちらから。 （通信操作編）はこちらから。 （パラメータ編）はこちらから。 （TEACH操作編）はこちらから。 |
| インポジション範囲 | ±10nm (±30,±70nm選択可能) |
| スローダウンセンサ入力 | 対応 |
| 最小指令単位 | 10nm |
| 最大移動距離設定範囲 | ー1342.17728～+1342.17727mm |
| 最大動作速度設定値 | 50mm/sec |
| 制御軸数 | 2軸 |
