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高耐久型自動アライメントステージ / HDS-120YAW

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

在庫お問合せ

品番

HDS-120YAW

￥260,000

◦試料ごとに微小な回転角度を調整する自動のアライメント装置などの用途に最適です。
◦駆動機構にボールネジを使用することで、部品の磨耗やガタツキを減らし、高耐久性を実現しました。
◦ボールネジによる直線運動をスチールベルトにより回転運動に変換しているため、分解能や回転速度はストロークセンターとストロークエンドとで差が生じることがありません。

その他の情報

その他の情報
カタログコード	W9087
RoHS	Yes
CE	Yes
資料ダウンロード	PDF
CADデータ	DXF STP IGES SAT
ご案内	▶HDSシリーズの原点センサはストロークの中心（0°）付近にあります。
ご注意	▶HDSシリーズは水平面に設置してご使用ください。天地逆転や垂直面に取り付けた場合は、性能を保証できません。もし、特殊な取り付けを希望される場合は、営業までお問合せ下さい。
3D_CAD
MAXスピード	60°/sec
ステージ上面材質	アルミ
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ（シャープ㈱）
テーブル面サイズ	φ120mm
バックラッシ	0.05°
分解能　（Half）	約0.0011°/パルス
分解能（Ｆull）	約0.0022°/パルス
モーメント剛性	0.1″/N･cm
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
ロストモーション	0.003°
位置決め精度	0.05°
移動ガイド	クロスローラ
移動機構	ボールネジ＋スチールベルト
回転範囲	±6°
近接原点センサ	無
繰返し位置決め精度	0.003°
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
最小応答分解能（参考）	0.5mdeg
質量	2.0kg
耐荷重	98N（10.0kgf）
同心度	10μm（±5°の範囲内）
表面処理	黒アルマイト
平行度	50μm
面振れ量	0.01mm （±5°の範囲内）
センサ　　出力論理	遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ　遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ
センサ　　消費電流	60mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
モータ　　ステップ角	0.72°
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ　0.75A/相　（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PK523HPB-C12（□28mm）
適応コントローラ	GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
適応ドライバ	SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
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