精密自動ステージ / HST-100XYZ

精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度XYZ軸ステージです。
3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比較して低騒音、低振動な動作が可能です。

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品番
HST-100XYZ
¥1,210,000
◦本体が鉄製であるため、剛性にも優れ高耐荷重を実現します。
その他の情報
カタログコード W9097
RoHS Yes
CE No
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CADデータ
ご案内 ▶モータ交換等をご希望される場合は営業までお問合せください。WEB参照/カタログコードW9500
▶ご所有のX軸ステージと新規でお買い求めのX軸ステージ等を当社にて組付けする場合は、別途費用がかかります。
▶HST-200XをXYZ軸に組付けをご希望される場合は、営業までお問い合わせください。
3D_CAD



MAXスピード 10mm/sec
ステージ材質
センサ品番 マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱)
テーブル面サイズ 165×200mm
バックラッシ 1μm
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
ロストモーション 1μm
移動ガイド クロスローラ
移動量 100mm
運動の垂直度 15μm
運動の直交度 5μm
近接原点センサ 有(NORMAL OPEN)
繰返し位置決め精度 2μm
原点センサ 有(NORMAL OPEN)
質量 36.1kg
送りネジ ボールネジ径φ10mm、リード2mm
耐荷重 98N(10.0kgf)
分解能(Full) 4μm/パルス
分解能(Half) 2μm/パルス