精密自動ステージ / HST-100XYZ
精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度XYZ軸ステージです。
3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比較して低騒音、低振動な動作が可能です。
3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比較して低騒音、低振動な動作が可能です。
在庫お問合せ
品番
HST-100XYZ
¥1,210,000
◦本体が鉄製であるため、剛性にも優れ高耐荷重を実現します。
カタログコード | W9097 |
---|---|
RoHS | Yes |
CE | No |
資料ダウンロード | |
CADデータ | |
ご案内 | ▶モータ交換等をご希望される場合は営業までお問合せください。WEB参照/カタログコードW9500 ▶ご所有のX軸ステージと新規でお買い求めのX軸ステージ等を当社にて組付けする場合は、別途費用がかかります。 ▶HST-200XをXYZ軸に組付けをご希望される場合は、営業までお問い合わせください。 |
3D_CAD | |
MAXスピード | 10mm/sec |
ステージ材質 | 鉄 |
センサ品番 | マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱) |
テーブル面サイズ | 165×200mm |
バックラッシ | 1μm |
リミットセンサ | 有(NORMAL CLOSE) |
ロストモーション | 1μm |
移動ガイド | クロスローラ |
移動量 | 100mm |
運動の垂直度 | 15μm |
運動の直交度 | 5μm |
近接原点センサ | 有(NORMAL OPEN) |
繰返し位置決め精度 | 2μm |
原点センサ | 有(NORMAL OPEN) |
質量 | 36.1kg |
送りネジ | ボールネジ径φ10mm、リード2mm |
耐荷重 | 98N(10.0kgf) |
分解能(Full) | 4μm/パルス |
分解能(Half) | 2μm/パルス |