精密自動ステージ / HST-100Z
精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度Z軸ステージです。
3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比較して低騒音、低振動な動作が可能です。
3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比較して低騒音、低振動な動作が可能です。
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品番
HST-100Z
¥420,000
◦本体が鉄製であるため、剛性にも優れ高耐荷重を実現します。
カタログコード | W9092 |
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RoHS | Yes |
CE | Yes |
資料ダウンロード | |
CADデータ | |
ご案内 | ▶モータ交換等をご希望される場合は営業までお問合せください。または、自動ステージシステムお問合せシートをご利用ください。 WEB参照/カタログコードW9500 |
3D_CAD | |
MAXスピード | 10mm/sec |
ステージ材質 | 鉄 |
センサ品番 | マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱) |
テーブル面サイズ | 165×220mm |
バックラッシ | 1μm |
ピッチング | 25″ |
モーメント剛性/ピッチング | 0.02″/N・cm |
モーメント剛性/ヨーイング | 0.015″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 0.015″/N・cm |
ヨーイング | 20″ |
リミットセンサ | 有(NORMAL CLOSE) |
ロストモーション | 1μm |
位置決め精度 | 7μm |
移動ガイド | クロスローラ |
移動量 | 100mm |
運動の垂直度 | 15μm |
近接原点センサ | 有(NORMAL OPEN) |
繰返し位置決め精度 | 2μm |
原点センサ | 有(NORMAL OPEN) |
質量 | 14.9kg |
送りネジ | ボールネジ径φ10mm、リード2mm |
耐荷重 | 98N(10.0kgf) |
分解能(Full) | 4μm/パルス |
分解能(Half) | 2μm/パルス |
センサ 出力論理 | 遮光時 : :出力トランジスタOFF(非導通):リミットセンサ 遮光時::出力トランジスタON(導通):原点センサ、近接原点センサ |
センサ 消費電流 | 80mA以下(1センサあたり20mA以下) |
センサ 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 |
センサ 電源電圧 | DC5~24V±10% |
モータ ステップ角 | 0.72° |
モータ タイプ | 5相ステッピングモータ 1.4A/相 (オリエンタルモーター㈱) |
モータ 品番 | PKP544N18B(□42mm) |
適応コントローラ | HSC-103、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH、PGC-04-U |
適応ドライバ | SG-5M、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL |