精密自動回転ステージ / HST-120YAW-0B

移動ガイドにベアリングを使用した高精度で安定性の高い自動回転ステージです。
3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比較して低騒音、低振動な動作が可能です。

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品番
HST-120YAW-0B
¥450,000
◦高耐荷重が必要な場合に適した自動回転ステージです。
◦測定物の種類、大きさ、測定範囲などの用途に合わせ各種検査装置をバックアップします。
その他の情報
カタログコード W9093
RoHS Yes
CE Yes
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CADデータ
ご案内 ▶自動回転ステージではCWリミットセンサを原点センサとして使用し、原点復帰させます。
▶原点検出は、ハーフステップ時MINI方式で原点復帰動作を行った時に0度で停止するよう調整されています。
ご注意 ▶天地逆転や垂直面に取リ付けて使用する場合には、注意が必要です。
▶精度や耐荷重は取リ付け方向により、一部仕様を満たさないことがあります。
3D_CAD



MAXスピード 30°/sec
ステージ材質 アルミ・アルミニウム青銅
センサ品番 マイクロフォトセンサ:PM-U25(SUNX㈱)
テーブル面サイズ φ120mm
バックラッシ 0.003°
モーメント剛性 0.015″/N・cm
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
ロストモーション 0.01°
位置決め精度 0.1°
移動ガイド ベアリング方式
移動機構(減速比) ウォームギヤ(1:144)
回転範囲 反時計周りCCW方向は∞
時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止
近接原点センサ
繰返し位置決め精度 0.01°
原点センサ
最小応答分解能(参考) 0.2mdeg
質量 5kg
耐荷重 343N(35.0kgf)
同心度 20μm
分解能(Full) 0.005°/パルス
分解能(Half) 0.0025°/パルス
平行度 50μm
面振れ量 0.01mm