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ガラススケール内蔵精密自動ステージ / HST(GS)-50X-0B

高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。

在庫あり

1のみ残っています

品番

HST(GS)-50X-0B

￥500,000

詳細

◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。

その他の情報

その他の情報
カタログコード	W9090
RoHS	Yes
CE	Yes
資料ダウンロード	PDF
CADデータ	DXF STP IGES SAT
ご案内	▶ガラススケールの理論分解能は0.05μm設定となっています。 ▶カタログ掲載以外の分解能をご希望される場合は、営業までご相談ください。
ご注意	▶HST(GS)シリーズをクローズドループ制御で駆動する際には、カタログ掲載仕様値内でご使用していただくために、コントローラのモーター分割数設定を100以上（1パルスあたりの移動量0.05μm以下）を推奨いたします。
MAXスピード	10mm/sec
ステージ材質	鉄
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（ｼｬｰﾌﾟ㈱）
テーブル面サイズ	165×165mm
バックラッシ	1μm
ピッチング	15″
モーメント剛性/ピッチング	0.01″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.01″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.005″/N･cm
ヨーイング	15″
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
ロストモーション	0.5μm
位置決め精度	3μm
移動ガイド	クロスローラ
移動量	50mm
運動の平行度	10μm
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
繰返し位置決め精度	0.5μm
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
質量	8.8kg
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード2mm
耐荷重	392N（40.0kgf）
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス
平行度	50μm
センサ　　出力論理	遮光時： :出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ遮光時：:出力トランジスタON（導通）：原点センサ、近接原点センサ
センサ　　消費電流	80mA以下（1センサあたり20mA以下）
センサ　　制御出力	NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
センサ　　電源電圧	DC5～24V±10％
モータ　　ステップ角	0.72°
モータ　　タイプ	5相ステッピングモータ 1.4A/相（オリエンタルモーター㈱）
モータ　　品番	PKP544N18B（□42mm）
軸タイプ	X軸
適応コントローラ	SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-SH