構成が単純で干渉光路長が短いため、
他の2つの干渉計より振動や温度変化の影響が小さく、安定した干渉計です。
反射体の面精度観察などに使用されます。
但し、測定面の反射光と参照面の反射光で反射光量が同じにならないため、干渉縞のコントラストは他の干渉計より悪くなります。