ガラススケール内蔵精密自動ステージ / KST(GS)-200X
高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。
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品番
KST(GS)-200X
◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。<
すでに生産が終了しています。在庫が無くなり次第、販売終了となります。後継機種はHST(GS)-シリーズこちらから。
| カタログコード | W9040 |
|---|---|
| RoHS | No |
| CE | No |
| CADデータ | |
| ご案内 | ▶ガラススケールの理論分解能は0.05μm設定となっています。 ▶カタログ掲載以外の分解能をご希望される場合は、営業までご相談ください。 |
| ご注意 | ▶KST(GS)シリーズをクローズドループ制御で駆動する際には、カタログ掲載仕様値内でご使用していただくために、コントローラのモーター分割数設定を100以上（1パルスあたりの移動量0.05μm以下）を推奨いたします。 |
| MAXスピード | 20mm/sec |
| ステージ材質 | 鉄 |
| センサ品番 | フォトマイクロセンサ：PM-L24（SUNX㈱）：リミット、原点センサ |
| テーブル面サイズ | 165×360mm |
| バックラッシ | 1μm |
| ピッチング | 20″ |
| モーメント剛性/ピッチング | 0.01″/N･cm |
| モーメント剛性/ヨーイング | 0.01″/N･cm |
| モーメント剛性/ローリング | 0.005″/N･cm |
| ヨーイング | 20″ |
| リミットセンサ | 有（NORMAL CLOSE） |
| ロストモーション | 0.5μm |
| 位置決め精度 | 5μm |
| 移動ガイド | クロスローラ |
| 移動量 | 200mm |
| 運動の平行度 | 20μm |
| 近接原点センサ | 無 |
| 繰返し位置決め精度 | 0.8μm |
| 原点センサ | 無 |
| 質量 | 19.4kg |
| 送りネジ | ボールネジ径φ14mm、リード2mm |
| 耐荷重 | 392N（40.0kgf） |
| 分解能（Full） | 4μm/パルス |
| 分解能（Half） | 2μm/パルス |
| 平行度 | 100μm |
| モータ ステップ角 | 0.72° |
| モータ タイプ | 5相ステッピングモータ 1.4A/相 （オリエンタルモーター㈱） |
| モータ 品番 | KST（GS）-50X：PK564-NBW（□60mm） |
| 適応コントローラ | SHOT-302GS、SHOT-304GS |
