θ軸粗微動ステンレスステージ (KSPS)
粗動360°の回転と微動（マイクロメータヘッド）が可能なすり合わせ式のθ軸（回転）粗微動ステージです。
粗動はステージ上面を直接回転させ、微動は粗動部分をクランプし、マイクロメータヘッド（±5°）で行います。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。ステージ本体、マイクロメータヘッドともに真空グリース（YVAC2）を使用しています。
KSPS-回転
| 品番シリーズ | KSPS-406 | KSPS-606 |  |
|---|---|---|---|
| テーブル面サイズ | φ40mm | φ60mm | |
| 移動量 | 粗動: 360° 微動: ±5° | 粗動: 360° 微動: ±5° | |
| 耐荷重 | 49N（5.0kgf） | 68.6N（7.0kgf） | |
| 許容モーメント荷重 | 0.3N･m | 0.75N･m | |
| モーメント剛性 | 1.5″/N･cm | 1.0″/N･cm | |
| 平行度 | 30μm | 50μm | |
| 偏心度 | 20μm | 20μm | |
| 面振れ量 | 20μm | 20μm | |
| 移動ガイド | すり合わせ方式 | ||
| 主要材質 | ステンレス | ||
| 表面処理 | 無 | ||
KSPSシリーズ仕様
| 品番 | 送り機構 | 取付規格 | 移動量 | 目盛最小読取 | マイクロメータ最小読取 | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| KSPS-406M | マイクロメータ | METRIC | 粗動: 360° 微動: ±5° | 2° | ≒1′24.2″ | 0.3kg |
| KSPS-606M | マイクロメータ | METRIC | 粗動: 360° 微動: ±5° | 1° | ≒55.8″ | 0.6kg |
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