XYZ軸フラットステンレスステージ / TSDS-255C

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース(YVAC2)を使用しています。

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品番
TSDS-255C
¥126,000
その他の情報
カタログコード W7076
RoHS Yes
CE No
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CADデータ
ご案内 ▶TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。
参照/真空度測定データアウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
ご注意 ▶Z軸構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することはできません。
▶テコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対する送り量にズレ(マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対し±0.02mm程度)が生じます。
▶□25mmと□40mmでは、回転方向(ヨーイング方向)に対して、高荷重をかけると故障の原因になることがありますのでご注意ください。 ▶TSDS-255CのY軸マイクロメータヘッド側の移動量は3mm未満となる場合があります。
(外形図カッコ寸法(3)参照)
3D_CAD



仕様
テーブル面サイズ25×25mm
軸タイプXYZ軸
マイクロ操作位置センター
移動量XY軸:±3mm Z軸:±3mm
移動量/1回転0.5mm
マイクロメータ最小読取0.01mm
移動ガイドボールガイド
主要材質ステンレス
表面処理
耐荷重29.4N(3.0kgf)
移動精度/真直度5μm
許容モーメント荷重/ピッチング1.0N・m
許容モーメント荷重/ローリング1.0N・m
モーメント剛性/ピッチング10.55″/N・cm
モーメント剛性/ローリング10.55″/N・cm
平行度130μm
質量0.2kg