X軸ステンレスステージ (TSDS)
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
TSDSシリーズは、真空用途に適したステージです。アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
TSDS-X軸 共通仕様
| 品番シリーズ | TSDS-251 | TSDS-401 | TSDS-601 | TSDS-651 |
|---|---|---|---|---|
| テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm |
| 移動量 | ±3mm | ±6.5mm | ±6.5mm | ±6.5mm |
| 耐荷重 | 49N（5.0kgf） | 147N（15.0kgf） | 343N（35.0kgf） | 343N（35.0kgf） |
| 移動精度/真直度 | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm |
| 移動精度/ピッチング | 30″ | 30″ | 25″ | 25″ |
| 移動精度/ヨーイング | 25″ | 25″ | 15″ | 15″ |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 3.0N･m | 3.9N･m | 6.4N･m | 8.8N･m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 3.7N･m | 3.9N･m | 6.4N･m | 9.8N･m |
| 許容モーメント荷重/ヨーイング | 1.5N･m | 2.5N･m | 4.9N･m | 4.9N･m |
| モーメント剛性/ピッチング | 1.8″/N･cm | 0.36″/N･cm | 0.2″/N･cm | 0.2″/N･cm |
| モーメント剛性/ローリング | 1.6″/N･cm | 0.3″/N･cm | 0.2″/N･cm | 0.2″/N･cm |
| モーメント剛性/ヨーイング | 1.6″/N･cm | 0.3″/N･cm | 0.2″/N･cm | 0.2″/N･cm |
| 平行度 | 30μm | 15μm | 15μm | 30μm |
| 移動平行度 | 10μm | 10μm | 10μm | 10μm |
| 移動ガイド | ボールガイド | |||
| 主要材質 | ステンレス | |||
| 表面処理 | 無 | |||
TSDS-X軸シリーズ仕様
| 品番 | 操作位置 | 送り機構 | 取付規格 | 移動量 | 移動量/1回転 | マイクロメータ最小読取 | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TSDS-251C | センター | マイクロメータ | METRIC | ±3mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.07kg |
| TSDS-251S | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±3mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.07kg |
| TSDS-401C | センター | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.2kg |
| TSDS-401S | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.2kg |
| TSDS-401CUU | センター | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.2kg |
| TSDS-401SUU | サイド | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.2kg |
| TSDS-601C | センター | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.5kg |
| TSDS-601S | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.5kg |
| TSDS-651C-M6 | センター | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
| TSDS-651S-M6 | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
| TSDS-651CUU | センター | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
| TSDS-651SUU | サイド | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
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