XY軸ステンレスステージ (TSDS)
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース(YVAC2)を使用しています。
TSDSシリーズは、真空用途に適したステージです。アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
TSDS-XY軸 共通仕様
品番シリーズ | TSDS-252 | TSDS-402 | TSDS-602 | TSDS-652 |
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テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm |
移動量 | ±3mm | ±6.5mm | ±6.5mm | ±6.5mm |
耐荷重 | 49N(5.0kgf) | 147N(15.0kgf) | 343N(35.0kgf) | 343N(35.0kgf) |
移動精度/真直度 | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm |
移動精度/ピッチング | 30″ | 30″ | 25″ | 25″ |
移動精度/ヨーイング | 25″ | 25″ | 15″ | 15″ |
許容モーメント荷重/ピッチング | 3.0N・m | 3.9N・m | 6.4N・m | 8.8N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 3.0N・m | 3.9N・m | 6.4N・m | 8.8N・m |
許容モーメント荷重/ヨーイング | 1.5N・m | 2.5N・m | 4.9N・m | 4.9N・m |
モーメント剛性/ピッチング | 3.4″/N・cm | 0.66″/N・cm | 0.41″/N・cm | 0.41″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 4.0″/N・cm | 0.66″/N・cm | 0.41″/N・cm | 0.41″/N・cm |
モーメント剛性/ヨーイング | 4.0″/N・cm | 0.8″/N・cm | 0.41″/N・cm | 0.41″/N・cm |
平行度 | 50μm | 30μm | 30μm | 50μm |
移動平行度 | 20μm | 20μm | 20μm | 20μm |
直交度 | 10μm | 10μm | 10μm | 10μm |
移動ガイド | ボールガイド | |||
主要材質 | ステンレス | |||
表面処理 | 無 |
TSDS-XY軸シリーズ仕様
品番 | 操作位置 | 送り機構 | 取付規格 | 移動量 | 移動量/1回転 | マイクロメータ最小読取 | 質量 |
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TSDS-252C | センター | マイクロメータ | METRIC | ±3mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.1kg |
TSDS-252S | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±3mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.1kg |
TSDS-402C | センター | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.3kg |
TSDS-402S | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.3kg |
TSDS-402CUU | センター | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.3kg |
TSDS-402SUU | サイド | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.3kg |
TSDS-602C | センター | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.9kg |
TSDS-602S | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.9kg |
TSDS-652C-M6 | センター | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 1.2kg |
TSDS-652S-M6 | サイド | マイクロメータ | METRIC | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 1.2kg |
TSDS-652CUU | センター | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 1.2kg |
TSDS-652SUU | サイド | マイクロメータ | INCH | ±6.5mm | 0.5mm | 0.01mm | 1.2kg |