50nmフィードバックステージ / NFS60-20X
CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。
分解能50nmタイプは、8種類のテーブル面サイズから選択ができます。
分解能50nmタイプは、8種類のテーブル面サイズから選択ができます。
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品番
NFS60-20X
¥320,000
- ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
- ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
- フィードバックステージ(NFSシリーズ)対応コントローラ(SHRC-203)をご用意しています。
カタログコード | W9317 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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RoHS | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
CE | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
資料ダウンロード | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
CADデータ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ご案内 |
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ご注意 |
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仕様 |
※1 分解能はSHRCコントローラ接続時にAutoConfigにより自動的に設定されます。 |
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動画 |