高剛性・精密型自動ステージ / OSMS26-100(XYZ)-INCH

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

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品番

OSMS26-100(XYZ)-INCH

￥407,000

◦レールの形状は、U字形として軽量化をはかり、たわみを最小に抑えた高剛性仕様となっています。

その他の情報
カタログコード	W9096
RoHS	Yes
CE	No
資料ダウンロード	PDF
CADデータ	DXF STP IGES SAT
ご案内	▶モータ交換等をご希望される場合は営業までお問合せください。WEB参照/カタログコードW9500（お問合せシート） ▶グリース変更（WEB参照/カタログコードW9006）はオプションで対応可能です。 ▶移動量200、300mmをXYZ軸に組付けをご希望される場合は営業までお問い合わせください。
3D_CAD
MAXスピード	10mm/sec
ステージ上面材質	アルミ
センサ品番	マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
テーブル面サイズ	120×120mm
バックラッシ	3μm
リミットセンサ	有（NORMAL CLOSE）
移動ガイド	アウターレール構造
移動量	100mm
運動の垂直度	40μm
運動の直交度	5μm
近接原点センサ	有（NORMAL OPEN）
原点センサ	有（NORMAL OPEN）
質量	12.5kg
送りネジ	ボールネジ径φ8mm、リード2mm
耐荷重	39.2N（4.0kgf）
表面処理	黒アルマイト
分解能（Full）	4μm/パルス
分解能（Half）	2μm/パルス