面精度保証ミラー (HTFM)
基板の材質や厚さとコーティングの条件を最適化することで、高面精度のミラーを実現しました。コーティング後の面精度λ/10を保証しています。
従来品の誘多膜平面ミラー（TFM）より、高い面精度（コート後）が得られています。基板に合成石英を用い、基板の厚さを厚くすることで、基板の剛性が高くなっています。
紫外レーザやYAGレーザの各波長に対応した高反射率のミラーをラインナップしています。
HTFM共通仕様
| 材質 | 合成石英 |
 |
|---|---|---|
| コーティング | 誘電体多層膜 | |
| 入射角 | 45°±3° | |
| 基板面精度 | λ/10 | |
| 平行度 | ＜3′ | |
| スクラッチ－ディグ | 10-5 | |
| 有効径 | 外径の80％ | |
| 裏面 | 研磨面 |
| 機能説明図 | 外形図 |
 |
 |
| 品番 | 適応波長 | 外径 φD |
厚さ t |
反射率 | レーザ耐力※ |
|---|---|---|---|---|---|
| HTFM-12.7C08-248 | 248nm | φ12.7mm | 8mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-248 | 248nm | φ25.4mm | 8mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-248 | 248nm | φ30mm | 8mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-248 | 248nm | φ50mm | 11mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-248 | 248nm | φ50.8mm | 11mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-266 | 266nm | φ12.7mm | 8mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-266 | 266nm | φ25.4mm | 8mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-266 | 266nm | φ30mm | 8mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-266 | 266nm | φ50mm | 11mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-266 | 266nm | φ50.8mm | 11mm | ＞99.2％ | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-308 | 308nm | φ12.7mm | 8mm | ＞99.5％ | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-308 | 308nm | φ25.4mm | 8mm | ＞99.5％ | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-308 | 308nm | φ30mm | 8mm | ＞99.5％ | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-308 | 308nm | φ50mm | 11mm | ＞99.5％ | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-308 | 308nm | φ50.8mm | 11mm | ＞99.5％ | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-355 | 355nm | φ12.7mm | 8mm | ＞99.5％ | 5J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-355 | 355nm | φ25.4mm | 8mm | ＞99.5％ | 5J/cm2 |
| HTFM-30C08-355 | 355nm | φ30mm | 8mm | ＞99.5％ | 5J/cm2 |
| HTFM-50C11-355 | 355nm | φ50mm | 11mm | ＞99.5％ | 5J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-355 | 355nm | φ50.8mm | 11mm | ＞99.5％ | 5J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-532 | 532nm | φ12.7mm | 8mm | ＞99.5％ | 7J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-532 | 532nm | φ25.4mm | 8mm | ＞99.5％ | 7J/cm2 |
| HTFM-30C08-532 | 532nm | φ30mm | 8mm | ＞99.5％ | 7J/cm2 |
| HTFM-50C11-532 | 532nm | φ50mm | 11mm | ＞99.5％ | 7J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-532 | 248nm | φ50.8mm | 11mm | ＞99.5％ | 7J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-1064 | 1064nm | φ12.7mm | 8mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-1064 | 1064nm | φ25.4mm | 8mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 |
| HTFM-30C08-1064 | 1064nm | φ30mm | 8mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 |
| HTFM-50C11-1064 | 1064nm | φ50mm | 11mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-1064 | 1064nm | φ50.8mm | 11mm | ＞99.5％ | 20J/cm2 |
※レーザパルス幅 10ns、繰り返し周波数 20Hz
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