可変倍率ハイパワー用ズーム式レーザビームエキスパンダー (BEZHP)

ハイパワーレーザに対応したレーザビームエキスパンダーです。
従来品より幅広い波長帯に対応しています。
波面収差を考慮したレンズ設計により干渉計やレーザ加工などの高精度な光学系に使用できます。

ビームエキスパンダーの光学系は、レンズの貼り合わせがないエアーギャップ構成になっています。これによって、高出力のレーザでも使用することができます。
設計波長、コーティング波長を従来品より範囲を広げて設計しているので、幅広い波長帯でご使用いただけます。
ビームエキスパンダーの先端についているディオプター環を回すことで、収束ビームからコリメートビーム、発散ビームと可変させることができます。厳密なコリメート調整が必要な場合やビームウェストの位置を可変する場合に使用します。

 

BEZHP共通仕様

レンズ材質 合成石英 固定倍率ハイパワー用レーザビームエキスパンダー
枠材質 アルミ
枠表面材質 黒アルマイト
入射角度
ポインティング <0.5mrad(参考値)

 

外形図(BEZHP-1/3) 外形図(BEZHP-2/8)

 

仕様(倍率)
品番 ビーム倍率 出射開口径 入射有効径 透過波面精度
(P-V)※3
質量
BEZHP-1/3 1~3倍 φ25mm φ6mm(×1~3)
最大φ14mm(×1)
<λ/7 (入射ビーム径φ5mmの場合の設計値)
参考値 <λ/4 (入射ビーム径φ4mm、倍率3倍、波長 632.8nm)
0.21kg
BEZHP-2/8-250/280 2~8倍 φ27mm φ3mmm(×2~×8)
最大φ10mm(×2)
<λ/7 (入射ビーム径φ3mm ≪8倍はφ2mm≫の場合の設計値
参考値 <λ/4 (入射ビーム径φ4mm、倍率3倍、波長 632.8nm)
0.47kg
BEZHP-2/8-340/380 2~8倍 φ27mm φ3mmm(×2~×8)
最大φ10mm(×2)
<λ/7 (入射ビーム径φ3mm ≪8倍はφ2mm≫の場合の設計値
参考値 <λ/4 (入射ビーム径φ4mm、倍率3倍、波長 632.8nm)
0.47kg
BEZHP-2/8-500/570 2~8倍 φ27mm φ3mmm(×2~×8)
最大φ10mm(×2)
<λ/7 (入射ビーム径φ4mm ≪7倍以上はφ2mm≫の場合の設計値
参考値 <λ/4 (入射ビーム径φ4mm、倍率3倍、波長 632.8nm)
0.47kg
BEZHP-2/8-1030/1100 2~8倍 φ27mm φ3mmm(×2~×8)
最大φ10mm(×2)
<λ/7 (入射ビーム径φ4mm ≪7倍以上はφ3mm≫の場合の設計値
参考値 <λ/4 (入射ビーム径φ4mm、倍率3倍、波長 632.8nm)
0.47kg

※3 設計値を保証するものではありません。設計波長を使った透過波面評価は行っていません。

 

仕様(波長範囲)
品番 設計波長 ARコート
対応波長
透過率
(ARコート計算値)※2
レーザ耐力
BEZHP-1/3-250/280 250~266nm 250~280nm >98% (266nm)、>94% (257.5nm)
>94% (250~280nm)、>43% (600~700nm)
2J/cm2
BEZHP-1/3-340/380 340~355nm 340~380nm >98% (355nm)、>94% (343.3nm)
>94% (340~380nm)、>43% (600~700nm)
4J/cm2
BEZHP-1/3-500/570 500~532nm 500~570nm >98% (532nm)、>96% (515nm)
>96% (500~570nm)、>43% (600~700nm)
5J/cm2
BEZHP-1/3-1030/1100 1030~1064nm 1030~1100nm >98% (1064nm)、>96% (1030nm)
>96% (1030~1100nm)、>43% (600~700nm)
7J/cm2
BEZHP-2/8-250/280 250~266nm 250~280nm >98% (266nm)、>94% (257.5nm)
>94% (250~280nm)、>43% (600~700nm)
4J/cm2
BEZHP-2/8-340/380 340~355nm 340~380nm >98% (355nm)、>94% (343.3nm)
>94% (340~380nm)、>43% (600~700nm)
4J/cm2
BEZHP-2/8-500/570 500~532nm 500~570nm >98% (532nm)、>96% (515nm)
>96% (500~570nm)、>43% (600~700nm)
7J/cm2
BEZHP-2/8-1030/1100 1030~1064nm 1030~1100nm >98% (1064nm)、>96% (1030nm)
>96% (1030~1100nm)、>43% (600~700nm)
7J/cm2

※1 レーザパルス幅 10ns、繰り返し周波数 20Hz
※2 ビームエキスパンダーの透過率は波長や入射ビーム径によって変化します。

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