オプティカルフラット (HMPQP_HMPZP)
温度変化による形状の変化が極めて小さい材料を高精度に研磨した基板です。
干渉計の原器やニュートン原器に使用することができます。
オプティカルフラットは干渉計による面精度の検査データが添付されます。サイズや各種面精度で細分化されたバリエーションの中から必要なオプティカルフラットをご選定いただけます。
大型で面精度の高いオプティカルフラットでは、合成石英より熱膨張の低い材料を使用しています。
側面の矢印が示している面が、高面精度の研磨面です。
オプティカルフラットは保管用のケースに入った状態で納入されます。
HMPQP/HMPZP共通仕様
| 材質 | 合成石英 低膨張ガラス(ゼロデュア® or CLEARCERAM®-Z) |  |
|---|---|---|
| 平行度 | ＜3′ | |
| スクラッチーディグ | 20₋10 | |
| 有効径 | 外径の95％ 波面精度λ/40は外径の90％ |
| 外形図 | 参考資料 ニュートンリング |
 |
 |
| 標準 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 品番 | 外径 φD | 厚さ t |
材質 | 反射波面精度 PV |
| HMPQP-30C10-6 | φ30mm | 10mm | 合成石英 | λ/6 |
| HMPQP-30C10-12 | φ30mm | 10mm | 合成石英 | λ/12 |
| HMPQP-30C10-20 | φ30mm | 10mm | 合成石英 | λ/20 |
| HMPQP-40C10-6 | φ40mm | 10mm | 合成石英 | λ/6 |
| HMPQP-40C10-12 | φ40mm | 10mm | 合成石英 | λ/12 |
| HMPQP-40C10-20 | φ40mm | 10mm | 合成石英 | λ/20 |
| HMPQP-50C10-6 | φ50mm | 10mm | 合成石英 | λ/6 |
| HMPQP-50C10-12 | φ50mm | 10mm | 合成石英 | λ/12 |
| HMPQP-50C10-20 | φ50mm | 10mm | 合成石英 | λ/20 |
| HMPQP-60C12-6 | φ60mm | 12mm | 合成石英 | λ/6 |
| HMPQP-60C12-12 | φ60mm | 12mm | 合成石英 | λ/12 |
| HMPQP-60C12-20 | φ60mm | 12mm | 合成石英 | λ/20 |
| HMPQP-80C15-6 | φ80mm | 15mm | 合成石英 | λ/6 |
| HMPQP-80C15-12 | φ80mm | 15mm | 合成石英 | λ/12 |
| HMPQP-80C15-20 | φ80mm | 15mm | 合成石英 | λ/20 |
| HMPQP-100C20-6 | φ100mm | 20mm | 合成石英 | λ/6 |
| HMPQP-100C20-12 | φ100mm | 20mm | 合成石英 | λ/12 |
| HMPQP-100C20-20 | φ100mm | 20mm | 合成石英 | λ/20 |
| HMPZP-100C17-6 | φ100mm | 17mm | 低膨張ガラス | λ/6 |
| HMPZP-100C17-12 | φ100mm | 17mm | 低膨張ガラス | λ/12 |
| HMPZP-100C17-20 | φ100mm | 17mm | 低膨張ガラス | λ/20 |
| HMPQP-130C25-6 | φ130mm | 25mm | 合成石英 | λ/6 |
| HMPQP-130C25-12 | φ130mm | 25mm | 合成石英 | λ/12 |
| HMPQP-130C25-20 | φ130mm | 25mm | 合成石英 | λ/20 |
| HMPZP-130C20-6 | φ130mm | 20mm | 低膨張ガラス | λ/6 |
| HMPZP-130C20-12 | φ130mm | 20mm | 低膨張ガラス | λ/12 |
| HMPZP-130C20-20 | φ130mm | 20mm | 低膨張ガラス | λ/20 |
| HMPQP-150C30-6 | φ150mm | 30mm | 合成石英 | λ/6 |
| HMPQP-150C30-12 | φ150mm | 30mm | 合成石英 | λ/12 |
| HMPQP-150C30-20 | φ150mm | 30mm | 合成石英 | λ/20 |
| HMPZP-150C25-6 | φ150mm | 25mm | 低膨張ガラス | λ/6 |
| HMPZP-150C25-12 | φ150mm | 25mm | 低膨張ガラス | λ/12 |
| HMPZP-150C25-20 | φ150mm | 25mm | 低膨張ガラス | λ/20 |
| 高精度 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 品番 | 外径 φD | 厚さ t |
材質 | 反射波面精度 PVr |
| HMPQP-30C10-40 | φ30mm | 10mm | 合成石英 | λ/40 |
| HMPQP-40C10-40 | φ40mm | 10mm | 合成石英 | λ/40 |
| HMPQP-50C10-40 | φ50mm | 10mm | 合成石英 | λ/40 |
| HMPQP-60C12-40 | φ60mm | 12mm | 合成石英 | λ/40 |
| HMPQP-80C15-40 | φ80mm | 15mm | 合成石英 | λ/40 |
| HMPQP-100C20-40 | φ100mm | 20mm | 合成石英 | λ/40 |
| HMPQP-130C25-40 | φ130mm | 25mm | 合成石英 | λ/40 |
| HMPQP-150C30-40 | φ150mm | 30mm | 合成石英 | λ/40 |
| HMPZP-150C25-40 | φ150mm | 25mm | 低膨張ガラス | λ/40 |
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