ウェッジ基板_合成石英 (WSSQ/WSSQK)
基板の表・裏面に僅かなウェッジをつけることで、表・裏面による反射ビームを分離させることができます。
ビームサンプラーや干渉計の参照原器として使用できます。
小さな角度で屈折させるプリズムとして使用することもできます。ビーム偏角δは屈折率ｎ、ウェッジ角αから求めることができます。
δ ＝ sin−1（ n sinα） − α ≒（ n − 1） α
合成石英では、ウェッジ角度の0.46倍になります。（可視域、垂直入射）
◦紫外域から赤外域の広い波長域で使用できる合成石英タイプやKr＊Fエキシマレーザ（248nm）用の合成石英タイプをご用意しています。
WBS共通仕様
| 材質 | 合成石英(WSSQ) エキシマレーザ用(248nm)合成石英(WSSQK) |
 |
|---|---|---|
| スクラッチ－ディグ | 20-10 | |
| 有効径 | 外径の90％ |
| 機能説明図 | 外形図 |
|---|---|
 |
 |
| 品番 | 外径 φD |
厚さ t |
面精度 | ウェッジ角度 W |
材質 |
|---|---|---|---|---|---|
| WSSQ-10C05-10-1 | φ10 | 5 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-10C05-20-1 | φ10 | 5 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-15C05-10-1 | φ15 | 5 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-15C05-20-1 | φ15 | 5 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-20C05-10-1 | φ20 | 5 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-20C05-20-1 | φ20 | 5 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-25C05-10-1 | φ25 | 5 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-25C05-20-1 | φ25 | 5 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-30C05-10-0.5 | φ30 | 5 | λ/10 | 0.5°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-30C05-20-0.5 | φ30 | 5 | λ/20 | 0.5°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-30C05-10-1 | φ30 | 5 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-30C05-20-1 | φ30 | 5 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-30C05-10-2 | φ30 | 5 | λ/10 | 2°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-30C05-20-2 | φ30 | 5 | λ/20 | 2°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-30C07-10-3 | φ30 | 7 | λ/10 | 3°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-30C07-20-3 | φ30 | 7 | λ/20 | 3°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-40C06-10-1 | φ40 | 6 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-40C06-20-1 | φ40 | 6 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-50C08-10-0.5 | φ50 | 8 | λ/10 | 0.5°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-50C08-20-0.5 | φ50 | 8 | λ/20 | 0.5°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-50C08-10-1 | φ50 | 8 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-50C08-20-1 | φ50 | 8 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-50C08-10-2 | φ50 | 8 | λ/10 | 2°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-50C08-20-2 | φ50 | 8 | λ/20 | 2°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-50C10-10-3 | φ50 | 10 | λ/10 | 3°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-50C10-20-3 | φ50 | 10 | λ/20 | 3°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-60C10-10-1 | φ60 | 10 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-60C10-20-1 | φ60 | 10 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-80C12-10-1 | φ80 | 12 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-80C12-20-1 | φ80 | 12 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-100C15-10-1 | φ100 | 15 | λ/10 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQ-100C15-20-1 | φ100 | 15 | λ/20 | 1°±5′ | 合成石英 |
| WSSQK-30C05-10-1 | φ30 | 5 | λ/10 | 1°±5′ | エキシマレーザ用合成石英 |
| WSSQK-50C08-10-1 | φ50 | 8 | λ/10 | 1°±5′ | エキシマレーザ用合成石英 |
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