高剛性・精密型自動ステージ / OSMS-160YAW

ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。

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品番
OSMS-160YAW
¥218,000
◦計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
その他の情報
カタログコード W9028
RoHS Yes
CE Yes
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CADデータ
ご案内 ▶自動回転ステージではCWリミットセンサを原点センサとして使用し、原点復帰させます。
▶原点検出は、ハーフステップ時MINI方式で原点復帰動作を行った時に0度で停止するよう調整されています。
ご注意 ▶天地逆転や垂直面に取リ付けて使用する場合には、注意が必要です。
▶精度や耐荷重は取リ付け方向により、一部仕様を満たさないことがあります。
3D_CAD



MAXスピード 30°/sec
ステージ材質 アルミ・アルミニウム青銅
センサ品番 マイクロフォトセンサ:PM-F25(SUNX㈱)
テーブル面サイズ φ160mm
バックラッシ 0.08°
モーメント剛性 0.1″/N・cm
リミットセンサ 有(NORMAL CLOSE)
ロストモーション 0.05°
位置決め精度 0.1°
移動ガイド クロスローラ
移動機構(減速比) ウォームギヤ(1:144)
回転範囲 反時計周りCCW方向は∞
時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止
近接原点センサ
繰返し位置決め精度 0.02°
原点センサ
最小応答分解能(参考) 0.5mdeg
質量 2.5kg
耐荷重 196N(20.0kgf)
同心度 30μm
分解能(Full) 0.005°/パルス
分解能(Half) 0.0025°/パルス
平行度 60μm
面振れ量 0.02mm
センサ  出力論理 遮光時:出力トランジスタOFF(非導通)
センサ  消費電流 15mA以下
センサ  制御出力 NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
センサ  電源電圧 DC5~24V±10%
モータ  ステップ角 0.72°
モータ  タイプ 5相ステッピングモータ 0.75A/相
(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番 C9865-90215P(□28mm)
適応コントローラ SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
適応ドライバ MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL