高剛性・精密型自動ステージ / OSMS-80YAW
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
在庫あり
品番
OSMS-80YAW
¥158,000
◦計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
カタログコード | W9028 |
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RoHS | Yes |
CE | Yes |
資料ダウンロード | |
CADデータ | |
ご案内 | ▶自動回転ステージではCWリミットセンサを原点センサとして使用し、原点復帰させます。 ▶原点検出は、ハーフステップ時MINI方式で原点復帰動作を行った時に0度で停止するよう調整されています。 |
ご注意 | ▶天地逆転や垂直面に取リ付けて使用する場合には、注意が必要です。 ▶精度や耐荷重は取リ付け方向により、一部仕様を満たさないことがあります。 |
MAXスピード | 30°/sec |
ステージ材質 | アルミ・アルミニウム青銅 |
センサ品番 | マイクロフォトセンサ:PM-F25(SUNX㈱) |
テーブル面サイズ | φ80mm |
バックラッシ | 0.08° |
モーメント剛性 | 0.2″/N・cm |
リミットセンサ | 有(NORMAL CLOSE) |
ロストモーション | 0.05° |
位置決め精度 | 0.15° |
移動ガイド | ベアリング方式 |
移動機構(減速比) | ウォームギヤ(1:144) |
回転範囲 | 反時計周りCCW方向は∞ 時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止 |
近接原点センサ | 無 |
繰返し位置決め精度 | 0.02° |
原点センサ | 無 |
最小応答分解能(参考) | 0.5mdeg |
質量 | 1.1kg |
耐荷重 | 98N(10.0kgf) |
同心度 | 30μm |
分解能(Full) | 0.005°/パルス |
分解能(Half) | 0.0025°/パルス |
平行度 | 50μm |
面振れ量 | 0.02mm |
センサ 出力論理 | 遮光時:出力トランジスタOFF(非導通) |
センサ 消費電流 | 15mA以下 |
センサ 制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 |
センサ 電源電圧 | DC5~24V±10% |
モータ ステップ角 | 0.72° |
モータ タイプ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相 (オリエンタルモーター㈱) |
モータ 品番 | C9865-90215P(□28mm) |
適応コントローラ | SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103 |
適応ドライバ | MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL |